【摘要】微信 。一種袋類包裝搬運碼垛機器人手部，屬于機器人 領域。為降低機器人手部重量及手指開合機構驅動元件的要 求，并能自動調節左右夾板之間的距離，本發明公開了一種機 器人手部，由天板，左、右夾板，手指部分和壓袋機構組成， 安裝在所述左、
【摘要】 本發明公開了一種聚焦離子束修改集成電路的 方法，包括定位步驟、挖洞步驟、沉積步驟和將集成電路的地 線引腳接地的步驟。在定位步驟中，定位地線通孔和電路線通 孔的位置；在挖洞步驟和沉積步驟中，在挖地線通孔前，在集 成電路的頂層上地線通孔所在區域鍍第一金屬鍍層；挖地線通 孔時，在地線通孔的位置從集成電路的頂層向下挖地線通孔到 集成電路內的地線處，并在地線通孔中沉積金屬至第一金屬鍍 層；在挖電路線通孔前，在集成電路的頂層上電路線通孔所在 區域鍍與第一金屬鍍層導電連接的第二金屬鍍層；挖電路線通 孔時，在電路線通孔的位置從集成電路的頂層向下挖電路線通 孔到集成電路內電路線處。本發明同時公開了一種采用聚焦離 子束修改的集成電路。 【專利類型】發明申請 【申請人】北京中星微電子有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】100083北京市海淀區學院路35號世寧大廈15層 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200610089139.3 【申請日】2006-08-04 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1889244A 【公開公告日】2007-01-03 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100397609C 【授權公告日】2008-06-25 【授權公告年份】2008.0 【IPC分類號】H01L21/70; H01L27/02; H01L23/60 【發明人】歐陽浩宇 【主權項內容】1、一種聚焦離子束修改集成電路的方法，包括定位步驟、挖洞步驟和沉積步 驟，其特征在于：還包括將集成電路的地線引腳接地的步驟，并且，在定 位步驟中，定位集成電路的地線通孔的位置，和電路線通孔的位置；然后 在挖洞步驟和沉積步驟中， 在挖地線通孔之前，先在集成電路的頂層上所述地線通孔所在區域鍍 第一金屬鍍層；挖地線通孔時，在所述地線通孔的位置從集成電路的頂層 向下挖地線通孔到集成電路內的地線處，并在所述地線通孔中沉積金屬至 所述第一金屬鍍層； 在挖電路線通孔之前，先在集成電路的頂層上所述電路線通孔所在區 域鍍與所述第一金屬鍍層導電連接的第二金屬鍍層；挖電路線通孔時，在 所述電路線通孔的位置從集成電路的頂層向下挖電路線通孔到集成電路 內電路線處。 【當前權利人】北京中星微電子有限公司 【當前專利權人地址】北京市海淀區學院路35號世寧大廈15層 【專利權人類型】有限責任公司(外國法人獨資) 【統一社會信用代碼】911101087002349407 【被引證次數】1 【被他引次數】1.0 【家族引證次數】9.0 【家族被引證次數】1
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