【摘要】本實用新型公開了一種晶片臺掃描裝置，包括晶 片臺、密封法蘭、導向座、直線電機、運動軸，其中所述晶片 臺固定在運動軸的上端，運動軸穿過導向座、密封法蘭；直線 電機連接運動軸，推動運動軸沿導向座作垂直方向的掃描運 動。本裝置采用新型的直
【摘要】 1.本外觀設計由件1、件2組合而成。 2.本外觀設計的設計要點在于件1、件2為太極造型。 3.件1仰視圖與件1俯視圖對稱，省略件1仰視圖。 4.件2與件1形狀相同，省略件2視圖。 【專利類型】外觀設計 【申請人】張雪峰 【申請人類型】個人 【申請人地址】100084北京市海淀區清華大學東8-3-101 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200630151473.8 【申請日】2006-05-11 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3627944D 【公開公告日】2007-04-04 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN3627944D 【授權公告日】2007-04-04 【授權公告年份】2007.0 【發明人】張雪峰 【主權項內容】無 【當前權利人】張雪峰 【當前專利權人地址】北京市海淀區清華大學東8-3-101
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