【摘要】本實用新型提供一種空氣等離子切割機，該切割機包括殼體和放置于殼體內的散熱器、風機、發熱磁性元件以及功率器件，在該殼體內設有中間板，由該中間板將所述殼體內部空間分隔為上部空間和下部空間，所述的發熱磁性元件放置于下部空間內，所述散熱器放
【摘要】 本實用新型公開了一種用于晶片夾持的靜電卡盤，包括基座，子吸盤，其中基座上有導電通孔，子吸盤安裝在基座上，子吸盤下方有基座的導電通孔。所述子吸盤包括絕緣層，電極層，薄絕緣層，電極層嵌裝在絕緣層的凹槽內，薄絕緣層粘接在電極層上。本實用新型通過采用多子吸盤陣列方式，實現對晶片靜電吸附，吸附可靠，散熱性能提高。 【專利類型】實用新型 【申請人】北京中科信電子裝備有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】100036北京市海淀區復興路乙20號匯通商務樓北門44號辦公樓2層東段 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200620113049.9 【申請日】2006-04-24 【申請年份】2006 【公開公告號】CN2922118Y 【公開公告日】2007-07-11 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN2922118Y 【授權公告日】2007-07-11 【授權公告年份】2007.0 【IPC分類號】H01L21/683; H01L21/67 【發明人】彭立波; 郭健輝; 易文杰; 許波濤 【主權項內容】1.一種用于晶片夾持的靜電卡盤，其特征在于：包括基座，子 吸盤，其中基座上有導電通孔，子吸盤安裝在基座上，子吸盤下方有 基座的導電通孔。 【當前權利人】北京中科信電子裝備有限公司 【當前專利權人地址】北京市海淀區復興路乙20號匯通商務樓北門44號辦公樓2層東段 【專利權人類型】有限責任公司(法人獨資) 【統一社會信用代碼】911101127513429762 【被引證次數】3 【被自引次數】1.0 【被他引次數】2.0 【家族被引證次數】3
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