【摘要】一種密封高磁場壓機，包括壓機電磁鐵組件3、 左密封倉組件1、右密封倉組件7、油壓缸組件8和液壓站2、 真空機械泵4、真空罐5、氮氣瓶6、電氣控制柜9。高磁場電 磁鐵為壓機主體，其上、下、左、右對稱地設置了四個油壓缸。 壓機左右為兩個
【摘要】 本實用新型公開了一種晶片臺掃描裝置，包括晶 片臺、密封法蘭、導向座、直線電機、運動軸，其中所述晶片 臺固定在運動軸的上端，運動軸穿過導向座、密封法蘭；直線 電機連接運動軸，推動運動軸沿導向座作垂直方向的掃描運 動。本裝置采用新型的直線電機驅動取代傳統的伺服電機加絲 杠組合使用的方式，提高了掃描響應速度和運動精度，同時運 動更加平穩；并且使用壽命更長，免維護。 ： 【專利類型】實用新型 【申請人】北京中科信電子裝備有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】100036北京市海淀區復興路乙20號匯通商務樓北門44號辦公樓2層東段 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200620008173.9 【申請日】2006-03-17 【申請年份】2006 【公開公告號】CN2890081Y 【公開公告日】2007-04-18 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN2890081Y 【授權公告日】2007-04-18 【授權公告年份】2007.0 【IPC分類號】C23C14/48; C23C14/54; H01L21/265; H01L21/67 【發明人】許波濤; 伍三忠; 郭健輝; 易文杰 【主權項內容】1.一種晶片臺掃描裝置，其特征在于：包括晶片臺、密封法蘭、 導向座、直線電機、運動軸，其中所述晶片臺固定在運動軸的上端， 運動軸穿過導向座、密封法蘭；直線電機連接運動軸，推動運動軸沿 沿導向座作垂直方向的掃描運動。 【當前權利人】北京中科信電子裝備有限公司 【當前專利權人地址】北京市海淀區復興路乙20號匯通商務樓北門44號辦公樓2層東段 【專利權人類型】有限責任公司(法人獨資) 【統一社會信用代碼】911101127513429762
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