【摘要】一種芯片封裝體，其包括一介電層、至少一導(dǎo)電 層、一芯片、一線路層及至少一導(dǎo)電通道。介電層具有一第一 表面、相對(duì)于第一表面的一第二表面及連接于第一表面及第二 表面之間的多個(gè)側(cè)表面。這些側(cè)表面的其中之一具有至少一溝 槽，其中此溝槽是自第
【摘要】 本發(fā)明提供一種制程機(jī)臺(tái)監(jiān)控的離線量測(cè)的方法與系統(tǒng)。提供一自我調(diào)整監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫，用以儲(chǔ)存用于執(zhí)行晶圓批量處理的預(yù)定監(jiān)控規(guī)則。定義用于執(zhí)行該晶圓批量處理的監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)，根據(jù)選取 自該自我調(diào)整監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫中的監(jiān)控規(guī)則取得所欲監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)，根據(jù)該監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)并利用一制程機(jī)臺(tái)執(zhí)行一離線量測(cè)操作以產(chǎn)生監(jiān)控結(jié)果，并且根據(jù)該監(jiān)控結(jié)果比較該選取的監(jiān)控規(guī)則與數(shù)據(jù)以判斷是否發(fā)生異常狀態(tài)。若否，則利用該制程機(jī)臺(tái)執(zhí)行晶圓批量處理。若是，則結(jié)束該制程機(jī)臺(tái)的晶圓批量處理。接著反饋一失效通知，并且重新定義監(jiān)控規(guī)則以更新該自我調(diào)整監(jiān)控規(guī)則數(shù)據(jù)庫。本發(fā)明可改善晶圓批量處理的效率與流程，減少生產(chǎn)損失。。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】中國臺(tái)灣新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū)新竹市力行六路八號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國 【申請(qǐng)人城市】臺(tái)灣省 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610145300.4 【申請(qǐng)日】2006-11-29 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN1983089A 【公開公告日】2007-06-20 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100465829C 【授權(quán)公告日】2009-03-04 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類號(hào)】G05B19/04; G05B19/048 【發(fā)明人】林志聰; 林水典 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種制程機(jī)臺(tái)監(jiān)控的離線量測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，該制程 機(jī)臺(tái)監(jiān)控的離線量測(cè)系統(tǒng)適用于一半導(dǎo)體制程，包括： 一數(shù)據(jù)收集單元，其更包括： 一第一數(shù)據(jù)庫，用以儲(chǔ)存與該半導(dǎo)體制程相關(guān)的預(yù)定監(jiān)控規(guī) 則；以及 一第二數(shù)據(jù)庫，用以儲(chǔ)存與該半導(dǎo)體制程相關(guān)的預(yù)定監(jiān)控?cái)?shù) 據(jù)； 一制程機(jī)臺(tái)，耦接于該數(shù)據(jù)收集單元，用以根據(jù)自該第一數(shù) 據(jù)庫選取的監(jiān)控規(guī)則與自該第二數(shù)據(jù)庫選取的監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)執(zhí)行一離 線量測(cè)操作以產(chǎn)生監(jiān)控結(jié)果，其中該監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)是根據(jù)該選取的監(jiān) 控規(guī)則而取得； 一限制系統(tǒng)，耦接于該數(shù)據(jù)收集單元，用以取得該監(jiān)控結(jié)果， 根據(jù)該監(jiān)控結(jié)果比較該選取的監(jiān)控規(guī)則與該監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)以判斷是否 發(fā)生異常狀態(tài)，若未發(fā)生異常狀態(tài)，則利用該制程機(jī)臺(tái)執(zhí)行晶圓 批量處理，若發(fā)生異常狀態(tài)，則結(jié)束該制程機(jī)臺(tái)的晶圓批量處理， 反饋一失效通知，并且重新定義監(jiān)控規(guī)則以更新該第一數(shù)據(jù)庫。。 【當(dāng)前權(quán)利人】臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】中國臺(tái)灣新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū)新竹市力行六路八號(hào) 【引證次數(shù)】1.0 【被引證次數(shù)】9 【他引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】9.0 【家族引證次數(shù)】9.0 【家族被引證次數(shù)】22
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