【摘要】本發(fā)明提供一半導體裝置，包括襯底，該襯底具 有第一區(qū)域及第二區(qū)域，該第一區(qū)域具有利用一組利用密勒指 數(shù){i，j，k}來表示的第一晶向，該第二區(qū)域系具有利用一組密 勒指數(shù){l，m，n}來表示的第二晶向，其中 l2+m2+n2＞ i2+
【摘要】 本發(fā)明涉及一種氣氛爐，是在一氣氛爐爐體內的底部設置一預熱裝置，其包括有殼體、內隔板、輸出管、輸入管、延伸管、以及連通管。內隔板設于殼體內部，使殼體內部分隔成一預熱室及一冷卻室；輸出管與冷卻室相連通；輸入管設置于輸出管內部，并與預熱室相連通，且與一供氣源連接；延伸管連通于預熱室及爐體內部；連通管連通于爐體內部及冷卻室。預熱室及冷卻室的間通過內隔板產生熱交換作用，使得流經冷卻室內的氣氛及廢氣所具熱能，可以通過內隔板所吸收并傳導至預熱室，而對預熱室內所流經的氣氛同時進行加熱。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】鄭文瑞 【申請人類型】個人 【申請人地址】臺灣省桃園縣龍?zhí)多l(xiāng)中興村34鄰天龍二巷11號2樓 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請?zhí)枴緾N200610073762.X 【申請日】2006-04-05 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101050919A 【公開公告日】2007-10-10 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100462658C 【授權公告日】2009-02-18 【授權公告年份】2009.0 【發(fā)明人】鄭文瑞 【主權項內容】1.一種氣氛爐，其包括有： 一底座； 一爐體，由多個固定組件固設于該底座上，該爐體內底部與該底 座間設有一具有隔熱效果的爐襯； 一爐罩，由斷熱材所制成，罩設于該爐體外部； 一加熱裝置，設置于該爐罩與該爐體之間；以及 一預熱裝置，位于該爐體內的底部，其包括有： 一內呈中空的殼體； 一內隔板，設于該殼體內部，使該殼體內部分隔成預熱室及 冷卻室，并分別位于該殼體內部的上下位置且互不相通；該殼體的上 表面處并設有斷熱板； 一輸出管，連接該殼體下表面處并延伸于該爐體外部，且與 該冷卻室相連通； 一輸入管，設置于該輸出管內部，并與該輸出管之間具有間 隙，該輸入管一端延伸于該爐體外部，且與一供氣源連接，該輸入管 另端則穿設過該冷卻室后與該預熱室相連通； 一延伸管，設置該殼體上表面處并與該預熱室相連通，且該 延伸管穿設過該斷熱板后延伸至該爐體內的頂部；及 一連通管，設于該殼體上表面處，且穿過該預熱室后與該冷 卻室相連通；該斷熱板位于與該連通管相對應位置處開設有集氣孔， 該連通管與該爐體內部相連通。 【當前權利人】力辰科技有限公司 【被引證次數(shù)】7 【被他引次數(shù)】7.0 【家族被引證次數(shù)】7
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