【摘要】本發明提供一種分解硫氟化合物的方法及裝置,在較低的反應溫度下,通過兩步分解硫氟化合物,以形成高水溶性的化合物,接著再以水洗的方式去除廢氣中的硫氟化合物。【專利類型】發明申請【申請人】財團法人工業技術研究院【申請人類型】科研單位【申請
【專利類型】外觀設計 【申請人】威剛科技股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】中國臺灣臺北縣 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200630135086.5 【申請日】2006-09-08 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3660141D 【公開公告日】2007-06-20 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN3660141D 【授權公告日】2007-06-20 【授權公告年份】2007.0 【發明人】陳立白; 蔡仕皇 【主權項內容】無 【當前權利人】威剛科技股份有限公司 【當前專利權人地址】中國臺灣臺北縣
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