【摘要】1.產品為細長桿狀，省略的中間部分與兩端相同。 2.產品后視圖與主視圖對稱省略?！緦＠愋汀客庥^設計【申請人】王廣武【申請人類型】個人【申請人地址】101121北京通州區梨園鎮九棵樹西路120號【申請人地區】中國【申請人城市】北京市
【摘要】 本發明提供一種分解硫氟化合物的方法及裝置，在較低的反應溫度下，通過兩步分解硫氟化合物，以形成高水溶性的化合物，接著再以水洗的方式去除廢氣中的硫氟化合物。 【專利類型】發明申請 【申請人】財團法人工業技術研究院 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】中國臺灣新竹縣 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610080310.4 【申請日】2006-05-09 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101069810A 【公開公告日】2007-11-14 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100584435C 【授權公告日】2010-01-27 【授權公告年份】2010.0 【發明人】顏紹儀; 許榮男; 李壽南 【主權項內容】1.一種分解硫氟化合物的方法，包括下列步驟： 提供硫氟化合物與第一催化劑接觸，以分解該硫氟化合物形成第一分 解物；以及 提供第二催化劑與該第一分解物接觸，以分解該第一分解物形成第二 分解物，其中該第二分解物可溶于水，優選所述硫氟化合物包括：SF6、SO2F2 或SOF2。。 【當前權利人】財團法人工業技術研究院 【當前專利權人地址】中國臺灣新竹縣
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