【摘要】本發(fā)明屬于精密機(jī)械技術(shù)，涉及對(duì)氣浮位移臺(tái)驅(qū) 動(dòng)裝置的改進(jìn)。它包括一個(gè)由小車1、金屬導(dǎo)軌2和小車驅(qū)動(dòng) 機(jī)構(gòu)組成的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，小車1位于移動(dòng)工作臺(tái)6 的內(nèi)腔中，有兩個(gè)擋板7和兩個(gè)氣墊9，小車1上沿運(yùn)動(dòng)方向 的前后兩端與移動(dòng)工作
【摘要】 一種制備室溫鐵磁性Zn1－ xMnxO納米線的 方法，屬于稀磁半導(dǎo)體納米材料制備領(lǐng)域。工藝為：將硅片分 別采用HCl和丙酮清洗干凈；將Zn粉和 MnCl2粉末作為蒸發(fā)源，相鄰放 置在石英舟中，硅片作為接收襯底，垂直放在兩種蒸發(fā)源的交 界處，硅片與蒸發(fā)源的垂直距離為6～8mm；將石英舟放入管 式爐中，系統(tǒng)入口處通入氣體，氣體在出口處用橡膠管導(dǎo)入水 中；系統(tǒng)通入300～400毫升/分鐘的氬氣，5～8min后將氬氣 流量改為30～50毫升/分鐘；將管式爐加熱到800～830℃，系 統(tǒng)壓強(qiáng)維持在大氣壓狀態(tài)，保溫120～150min后自然冷卻至室 溫，得到大面積分布均勻的Zn1－ xMnxO納米線。 優(yōu)點(diǎn)在于：制備的Zn1－ xMnxO納米線具 有很強(qiáng)的鐵磁性，居里溫度高于室溫。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】北京科技大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】100083北京市海淀區(qū)學(xué)院路30號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610088915.8 【申請(qǐng)日】2006-07-26 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN1908250A 【公開公告日】2007-02-07 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100357499C 【授權(quán)公告日】2007-12-26 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類號(hào)】C30B25/00; C30B29/22; C30B29/62; C30B29/00; C30B29/10 【發(fā)明人】常永勤 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種制備室溫鐵磁性Zn1-xMnxO納米線的方法，其特征在于：工 藝為： a、將硅片采用鹽酸清洗后用去離子水沖洗干凈，然后再用丙酮清洗， 最后用去離子水沖洗干凈； b、將Zn粉和MnCl2粉末作為蒸發(fā)源，相鄰放置在石英舟中，硅片作 為接收襯底，垂直放在兩種蒸發(fā)源的交界處，硅片與蒸發(fā)源的垂直距離 為6～8mm； c、將石英舟放入管式爐中，系統(tǒng)入口處通入氣體，氣體在出口處用 橡膠管導(dǎo)入水中；系統(tǒng)通入300～400毫升/分鐘的氬氣，5～8min后將氬 氣流量改為30～50毫升/分鐘；將管式爐加熱到800～830℃，系統(tǒng)壓強(qiáng)維 持在大氣壓狀態(tài)，保溫120～150min后自然冷卻至室溫，得到大面積分 布均勻的Zn1-xMnxO納米線；Mn含量的取值范圍為1.5～23原子％， Zn1-xMnxO納米線的直徑為30～150nm，長(zhǎng)度為5～22μm。 【當(dāng)前權(quán)利人】北京科技大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)學(xué)院路30號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】121000004000022245 【被引證次數(shù)】6 【被自引次數(shù)】2.0 【被他引次數(shù)】4.0 【家族引證次數(shù)】4.0 【家族被引證次數(shù)】6
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