【摘要】本實用新型涉及一種車用緩速器，包括由軟磁材 料制成的定子(1)和可相對于該定子旋轉(zhuǎn)且由軟磁材料制成的 轉(zhuǎn)子(2)，該定子與轉(zhuǎn)子之間形成工作間隙(3)，在該定子上嵌裝 有勵磁線圈(6)，由該定子與轉(zhuǎn)子形成的工作間隙(3)中填充著軟 磁
【摘要】 一種多功能半導體晶片鍵合裝置，包括鍵合腔室，該鍵合腔室中間的下部安裝有一下壓頭；抽真空裝置與鍵合腔室連接，控制真空泵機組對鍵合腔室抽真空，并且實時監(jiān)測鍵合腔室的真空度；加熱裝置位于鍵合腔室內(nèi)，對鍵合腔室加熱到設(shè)定的溫度，并且通過反饋裝置保持鍵合腔室的溫度在一定范圍內(nèi)，并且能夠?qū)崟r監(jiān)測鍵合腔室的溫度；氣體氛圍改變裝置與鍵合腔室連接，改變鍵合腔室的氣體氛圍分別為真空、氮氣氛圍、氫氣氛圍或者氮氣氫氣混合氛圍；施力裝置位于鍵合腔室的任一側(cè)，為鍵合腔室內(nèi)的半導體晶片施加壓力，并且可以實時監(jiān)控鍵合晶片上施加的壓力。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中國科學院半導體研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】100083北京市海淀區(qū)清華東路甲35號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610082853.X 【申請日】2006-06-15 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101090082A 【公開公告日】2007-12-19 【公開公告年份】2007 【IPC分類號】H01L21/603; B23K20/00; H01L21/02 【發(fā)明人】楊國華; 何國榮; 石巖; 宋國峰; 鄭婉華; 陳良惠 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種多功能半導體晶片鍵合裝置，包括鍵合腔室、 抽真空裝置、加熱裝置、氣體氛圍改變裝置和施力裝置，其 特征在于，其中： 該鍵合腔室提供鍵合所需的潔凈空間，該鍵合腔室中間 的下部安裝有一下壓頭； 抽真空裝置，該抽真空裝置與鍵合腔室連接，控制真空 泵機組對鍵合腔室抽真空，并且實時監(jiān)測鍵合腔室的真空度； 加熱裝置，該加熱裝置位于鍵合腔室內(nèi)，對鍵合腔室加 熱到設(shè)定的溫度，并且通過反饋裝置保持鍵合腔室的溫度在 一定范圍內(nèi)，并且能夠?qū)崟r監(jiān)測鍵合腔室的溫度； 氣體氛圍改變裝置，該氣體氛圍改變裝置與鍵合腔室連 接，改變鍵合腔室的氣體氛圍分別為真空、氮氣氛圍、氫氣 氛圍或者氮氣氫氣混合氛圍； 施力裝置，該施力裝置位于鍵合腔室的任一側(cè)，為鍵合 腔室內(nèi)的半導體晶片施加壓力，并且可以實時監(jiān)控鍵合晶片 上施加的壓力。 【當前權(quán)利人】中國科學院半導體研究所 【當前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)清華東路甲35號 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000400012385U 【被引證次數(shù)】15 【被自引次數(shù)】3.0 【被他引次數(shù)】12.0 【家族被引證次數(shù)】15
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