【摘要】一種能定時(shí)關(guān)閉排風(fēng)的衛(wèi)生間排風(fēng)系統(tǒng)，包括抽風(fēng)機(jī)和由時(shí)間定時(shí)器控制的開關(guān)。在開啟衛(wèi)生間的抽風(fēng)機(jī)后，由于衛(wèi)生間里難聞的氣味一時(shí)難以排盡，因此，人在離開衛(wèi)生間時(shí)不關(guān)閉排風(fēng)裝置但打算等一會(huì)兒關(guān)閉排風(fēng)裝置，于是就通過設(shè)置時(shí)間定時(shí)器的關(guān)閉時(shí)間，
【摘要】 本發(fā)明提供一種等離子淋浴器，能夠產(chǎn)生中和用電子，用于在離子注入工藝中，在被注入晶片上產(chǎn)生的靜電積累進(jìn)行中和，提高離子注入工藝的性能，消除靜電積累對(duì)注入晶片的危害。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】北京中科信電子裝備有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】100036北京市海淀區(qū)復(fù)興路乙20號(hào)匯通商務(wù)樓北門44號(hào)辦公樓2層?xùn)|段 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610065122.4 【申請(qǐng)日】2006-03-17 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN101038869A 【公開公告日】2007-09-19 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100468632C 【授權(quán)公告日】2009-03-11 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類號(hào)】H01L21/265; H01L21/425; C30B31/22; H01J37/317; H05H1/00; H05F3/04 【發(fā)明人】唐景庭; 彭立波; 謝均宇; 羅宏洋 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】 1.水冷等離子淋浴器，其特征在于，包括下列部件：引出極板(1)，燈 絲裝夾機(jī)構(gòu)(2)，燈絲(3)，送氣管路(4)，燈絲引線機(jī)構(gòu)(5)，法蘭絕 緣墊(6)，法蘭(7)，導(dǎo)水長(zhǎng)管(8)，水冷支架(9)，兩瓷絕緣柱子(10)， 屏蔽罩(11)，兩磁鐵(12)，兩磁鐵安裝板(13)； 所述的水冷支架(9)底部的通孔、燈絲裝夾機(jī)構(gòu)(2)和引出極板(1) 共同圍成一個(gè)放電工作空間稱為放電弧室(14)； 所述的引出極板(1)，安裝在放電弧室的頂端面，正中有一圓孔，是 等離子淋浴器的等離子出口； 所述的燈絲裝夾機(jī)構(gòu)(2)，裝夾有燈絲(3)、燈絲裝夾的夾桿和螺母 及絕緣塊，用于燈絲與水冷支架(9)之間的絕緣安裝； 所述的送氣管路(4)連接從法蘭(7)到水冷支架(9)的頂部的弧放 電通孔，用于從送氣系統(tǒng)往放電弧室(14)內(nèi)送入工作氣體； 所述的燈絲引線機(jī)構(gòu)(5)，一端與燈絲(3)相連，另一端穿過法蘭(7) 與燈絲電源相連； 所述的法蘭絕緣墊(6)是離子淋浴器的整體安裝絕緣墊，一面與法蘭 (7)接觸，另一面與設(shè)備安裝面接觸； 所述的法蘭(7)用于固定水冷支架(9)和燈絲引線機(jī)構(gòu)(5)以及送 氣管路(4)； 所述的導(dǎo)水長(zhǎng)管(8)通過卡套接頭與水冷支架(9)連接，將冷卻水 送到水冷支架(9)底部的放電弧室附近，以冷卻放電弧室腔體； 所述的水冷支架(9)頂部設(shè)計(jì)有弧放電通孔，在支架的長(zhǎng)桿內(nèi)開有從 外端一直到弧放電通孔附近的通水孔，用以導(dǎo)通冷卻水，燈絲裝夾機(jī)構(gòu)(2)， 送氣管路(4)，燈絲引線機(jī)構(gòu)(5)和法蘭(7)都裝配在其上； 所述的絕緣瓷柱子(10)用來在水冷支架(9)上絕緣并固定燈絲引線 機(jī)構(gòu)(5)； 所述的屏蔽罩(11)兩側(cè)安裝有厚度方向磁化的永久磁鐵(12)； 所述的磁鐵(12)通過磁鐵安裝板(13)安裝在水冷支架(9)頂部弧 放電通孔的兩側(cè)。 【當(dāng)前權(quán)利人】北京中科信電子裝備有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)復(fù)興路乙20號(hào)匯通商務(wù)樓北門44號(hào)辦公樓2層?xùn)|段 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司(法人獨(dú)資) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】911101127513429762 【被引證次數(shù)】4 【被自引次數(shù)】2.0 【被他引次數(shù)】2.0 【家族引證次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】4
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