【摘要】本發(fā)明涉及一種具有可控磁場的脈沖激光沉積系統(tǒng)，該系統(tǒng)為在傳統(tǒng)PLD設(shè)備基礎(chǔ)上加一套外加強磁場裝置，包括：所述的真空室設(shè)置成側(cè)壁有一凸出腔，在該凸出腔內(nèi)安裝所述的靶組件和所述的基片加熱器；所述的石英玻璃窗口設(shè)置在凸出腔上方；還包括一套
【摘要】 省略其他視圖。 【專利類型】外觀設(shè)計 【申請人】寧波萬通電子有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】100096北京市海淀區(qū)西三旗東路新康園9-1403 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200630138804.4 【申請日】2006-10-13 【申請年份】2006 【公開公告號】CN300688402D 【公開公告日】2007-09-05 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN300688402D 【授權(quán)公告日】2007-09-05 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】汪建能 【主權(quán)項內(nèi)容】無 【當(dāng)前權(quán)利人】寧波萬通電子有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)西三旗東路新康園9-1403 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司(自然人獨資) 【統(tǒng)一社會信用代碼】91330212744972427M
未經(jīng)允許不得轉(zhuǎn)載：http://www.mhvdw.cn/1776166442.html
喜歡就贊一下
