【摘要】一種發光二極管勻光節能霓虹管，包括外皮和內 芯，該內芯中裝有多個發光二極管，各發光二極管沿內芯軸向 間隔布置，各發光二極管通過導線聯接，所述內芯的外圍包覆 一層混有散光介質的外皮，該內芯具有非光滑的外壁面，所述 每個發光二極管的外部
【摘要】 本發明涉及一種具有可控磁場的脈沖激光沉積系統，該系統為在傳統PLD設備基礎上加一套外加強磁場裝置，包括：所述的真空室設置成側壁有一凸出腔，在該凸出腔內安裝所述的靶組件和所述的基片加熱器；所述的石英玻璃窗口設置在凸出腔上方；還包括一套電磁鐵組件，該組件的電磁鐵線圈放置在真空室凸出腔外側，兩鐵芯磁極通過密封法蘭環接到腔內基片加熱器的兩側，電磁鐵通過控制電源和計算機相連；基片加熱器和靶組件與電磁鐵的鐵芯非接觸。本發明裝置結構簡單，易操作。能容易的在薄膜生長或退火過程中外加可控強磁場，實現傳統PLD所不能生長的薄膜。為制備研究新型特殊結構的薄膜樣品提供了有效的實驗裝置。 【專利類型】發明申請 【申請人】中國科學院物理研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】100080北京市海淀區中關村南三街8號 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200610001808.7 【申請日】2006-01-20 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101003890A 【公開公告日】2007-07-25 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100526497C 【授權公告日】2009-08-12 【授權公告年份】2009.0 【IPC分類號】C23C14/28; C23C14/35 【發明人】寧廷銀; 周岳亮; 趙嵩卿; 王淑芳; 韓鵬; 程波林; 金奎娟; 呂惠賓; 陳正豪; 何萌; 劉知韻; 楊國楨 【主權項內容】1.一種具有可控磁場的脈沖激光沉積制膜系統，包括真空室(14)，由機 械泵、分子泵和管路組成的真空機組(10)；高壓氣瓶(11)放置在真空室(14) 外，通過真空室壁上的針閥與真空室(14)連通組成充氣系統；真空室中安裝靶 組件(13)和基片加熱器(7)，控制電源(8)與基片加熱器(7)連接組成加 熱控溫部分；準分子脈沖激光器(1)放置在真空室(14)外，其產生的脈沖激 光經過聚焦透鏡(2)聚焦后，經光束掃描鏡反射，通過石英玻璃窗口(5)照射 到靶材上；其特征在于：所述的真空室(14)設置成側壁有一凸出腔(15)，在 該凸出腔(15)內安裝所述的靶組件(13)和所述的基片加熱器(7)；所述的 石英玻璃窗口(5)設置在凸出腔(15)上方；還包括一套電磁鐵組件，該組件 的電磁鐵線圈(17)放置在真空室凸出腔(15)外側，兩鐵芯(16)的兩磁極通 過密封法蘭環(20)，接到真空室內的基片加熱器(7)的兩側，電磁鐵(4)通 過控制電源(18)和計算機相連；基片加熱器(7)和靶組件(13)與電磁鐵的 鐵芯(16)非接觸。 ： 【當前權利人】中國科學院物理研究所 【當前專利權人地址】北京市海淀區中關村南三街8號 【統一社會信用代碼】12100000400012174C 【被引證次數】14 【被自引次數】4.0 【被他引次數】10.0 【家族引證次數】4.0 【家族被引證次數】14
未經允許不得轉載：http://www.mhvdw.cn/1776151960.html
喜歡就贊一下
