【摘要】一種具可調式伸縮桿的運動器材，該運動器材設 有一套管，套管外端為基礎部，于內端凹設一波浪形套孔，設 有一桿件，桿件的外端形成作用部，且內端插設于套孔內，于 該端軸向伸設圓錐狀的延伸部，延伸部的外端凸設一環止擋凸 緣，設有兩束合于延伸
【摘要】 本發明公開一種三維存儲器的層間連線結構及其制法，該結構利用導線布局，由多個存儲單元組成的存儲單元組群經由導線及插栓的排列連接到各個選擇晶體管，其中該導線布 局是在各個同一水平面分別布置多個導線，且在上下二層不同水平面的相鄰導線間選擇性形成插栓，使該插栓可選擇性跨接上下二層水平面的相鄰導線，由于堆棧于三維存儲器各堆棧層的堆棧態布局圖案完全相同，各堆棧層的上下導線使用相同的布局，節省光罩的使用及簡化了制程，從而降低了成本、簡化了多層三維存儲器的連線結構。 【專利類型】發明申請 【申請人】財團法人工業技術研究院 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】臺灣省新竹縣 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610057424.7 【申請日】2006-03-15 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101038906A 【公開公告日】2007-09-19 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN101038906B 【授權公告日】2012-03-21 【授權公告年份】2012.0 【IPC分類號】H01L23/528; H01L21/768; H01L23/52; H01L21/70 【發明人】鄭培仁 【主權項內容】1.一種三維存儲器的層間連線結構的制法，其特征在于，該制法包 括下列步驟： 提供一基材，該基材包括一存儲數組區及二個周邊連線區，二個 周邊連線區分為位于該存儲數組區第一方向延伸的第一周邊連線區及 位于該存儲數組區第二方向延伸的第二周邊連線區； 第一高度在該基材的存儲數組區上形成下電極導線； 第一高度在該基材的第一及第二周邊連線區上形成短導線圖案； 第二高度在該存儲數組區形成多個存儲單元； 第二高度在存儲數組區的導線末端及二個周邊連線區上形成插 栓； 第三高度在存儲數組區上形成上導線圖案； 第三高度在第一及第二周邊連線區上形成短導線圖案；以及 第四高度在二個周邊連線區上形成插栓。 【當前權利人】財團法人工業技術研究院 【當前專利權人地址】中國臺灣新竹縣 【引證次數】2.0 【被引證次數】12 【他引次數】2.0 【被他引次數】12.0 【家族引證次數】2.0 【家族被引證次數】12
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