【摘要】一種沉積設備的清潔方法，首先將一含氟的清潔氣體導入該沉積設備中，使該含氟的清潔氣體在該沉積設備中維持在一第一壓力狀態下。提供一RF功率，點燃該沉積設備中的該含氟的清潔氣體，產生一等離子體氣體。形成該等離子體氣體后，使該等離子體氣體在
【摘要】 本實用新型有關于一種濾芯結構，是由一濾芯筒、一固定蓋體及一固定架組成，該固定蓋體上設有入水孔及出水孔，并具有兩相對應的卡合塊，而該固定架的上下兩端分別設有第一卡合槽及第二卡合槽，且第一卡合槽及第二卡合槽間成交錯設置，該第一卡合槽供固定蓋體的卡合塊對應嵌入卡合，另在該濾芯筒上，也設有兩相對應的卡合塊，并令該固定架與濾芯筒相設，以與固定架的第二卡合槽對應嵌入卡合固定；據此，當欲拆換該固定蓋體時，可不需借助工具直接旋轉固定蓋體，使其卡合塊脫離固定架上的第一卡合槽，便可將固定蓋體自固定架上拆離，并進行更換動作，故其在拆換固定蓋體的手段上相當容易、方便。 【專利類型】實用新型 【申請人】森泉企業股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】臺灣省臺中縣 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200620133466.X 【申請日】2006-10-17 【申請年份】2006 【公開公告號】CN200977450Y 【公開公告日】2007-11-21 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN200977450Y 【授權公告日】2007-11-21 【授權公告年份】2007.0 【發明人】邱明琴 【主權項內容】1.一種濾芯結構，其特征在于包括： 一濾芯筒，其頂端設組接部，在組接部下方周緣處設有卡合塊； 一固定架，其具有水平段，于該水平段的上方及下方處分別形成有第 一卡合槽及第二卡合槽； 一固定蓋體，其上設有多個可供入水或出水的入水孔及出水孔，并于 其下方周緣處凸設卡合塊； 固定蓋體的卡合塊對應卡設于固定架的第一卡合槽，而濾芯筒的卡合 塊對應卡合于固定架的第二卡合槽中，將固定蓋體、濾芯筒與固定架結合 在一起。 【當前權利人】森泉企業股份有限公司 【當前專利權人地址】臺灣省臺中縣 【被引證次數】6 【被他引次數】6.0 【家族被引證次數】6
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