【摘要】一種可收折的踏步機,包括:二支撐座,每一支撐座分別具有一樞接部以及遠離該樞接部的一支撐部,二支撐座分別以其樞接部彼此相互樞接,且二支撐座以相互樞擺型態設置;對應每一支撐座分別設置一踏板,每一踏板是可活動地設置于所對應的支撐座;一支持
【摘要】 一種多晶硅層的制造方法,其包括下列步驟:首先,提供一基板,并在基板上形成一非晶硅層。在非晶硅層上形成一圖案化金屬層。然后,進行一脈沖模式快速升溫退火處理制程,以在圖案化金屬層與非晶硅層之間形成一金屬硅化物,且圖案化金屬層與金屬硅化物將熱能傳導至非晶硅層,以使非晶硅層轉換成一多晶硅層。最后,移除圖案化金屬層。因此,此多晶硅層較不易產生金屬污染的現象。 【專利類型】發明申請 【申請人】中華映管股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】臺灣省臺北市中山北路三段二十二號 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610095644.9 【申請日】2006-06-22 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101093798A 【公開公告日】2007-12-26 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100485869C 【授權公告日】2009-05-06 【授權公告年份】2009.0 【IPC分類號】H01L21/20; H01L21/324; H01L21/336; H01L29/04; H01L29/786; H01L21/02; H01L29/02; H01L29/66 【發明人】林炯暐; 李圣琦; 陳易良; 黃瑞成; 鄧德華 【主權項內容】1.一種多晶硅層的制造方法,其特征在于,包括: 提供一基板,并在所述基板上形成一非晶硅層; 在所述非晶硅層上形成一圖案化金屬層; 進行一脈沖模式快速升溫退火處理,以在所述圖案化金屬層與所述非晶硅層 之間形成一金屬硅化物,且所述圖案化金屬層與所述金屬硅化物將熱能傳導至所述 非晶硅層,以使所述非晶硅層轉換成一多晶硅層;以及 移除所述圖案化金屬層。 【當前權利人】中華映管股份有限公司 【當前專利權人地址】臺灣省臺北市中山北路三段二十二號 【被引證次數】3 【被他引次數】3.0 【家族引證次數】5.0 【家族被引證次數】3
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