【摘要】一種具有雙感測器的體溫計，包括一低熱容值的端部構(gòu)件和一高熱容值的本體構(gòu)件，端部構(gòu)件固接于本體構(gòu)件的前端部，且前端部包括一溫度補償點；一第一溫度感測器，設置于端部構(gòu)件的熱接觸面內(nèi)側(cè)壁，以感測熱接觸面的溫度并產(chǎn)生一第一溫度信號；一第二溫
【摘要】 本發(fā)明公開一種懸臂式電阻的濕度感測結(jié)構(gòu)及其制法，該結(jié)構(gòu)包括：一基板，具有第一表面及第二表面，該第一及第二表面經(jīng)氧化制程形成一第一及第二氧化層，且具有一貫穿該第一及第二氧化層的開口，并在該開口中保留形成有一懸臂；一電阻感應層，形成于該基板的該懸臂上；以及一濕度感應層，形成于該電阻感應層上。本發(fā)明可直接提供轉(zhuǎn)換成的濕度數(shù)據(jù)，簡化了產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，免除了電容式感應必須使用兩個相對電極層導致的結(jié)構(gòu)復雜及成本增加的缺失，再者使該電阻感應層及濕度感應層位于懸臂上，可形成用于感測環(huán)境的濕度的結(jié)構(gòu)，一道制作流程即可完成，簡化制程，提高了產(chǎn)品良率及降低成本。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】財團法人工業(yè)技術(shù)研究院 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】臺灣省新竹縣 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請?zhí)枴緾N200610058514.8 【申請日】2006-03-10 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101034076A 【公開公告日】2007-09-12 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN101034076B 【授權(quán)公告日】2010-10-06 【授權(quán)公告年份】2010.0 【發(fā)明人】陳榮泰; 李佳言; 邱以泰; 朱俊勛 【主權(quán)項內(nèi)容】1.一種懸臂式電阻濕度感測結(jié)構(gòu)的制法，其特征在于，該制法包括： 提供一基板，具有第一表面及第二表面； 該基板的該第一表面及第二表面經(jīng)氧化制程形成一第一及第二氧 化層； 在該基板的該第一氧化層形成一電阻感應層； 在該電阻感應層上形成一濕度感應層；以及 在該基板形成一貫穿該第一氧化層及該第二氧化層的開口，并在 該開口中保留形成一懸臂，使該基板的懸臂上具有該濕度感應層及該 電阻感應層。 【當前權(quán)利人】財團法人工業(yè)技術(shù)研究院 【當前專利權(quán)人地址】中國臺灣新竹縣 【被引證次數(shù)】TRUE 【家族被引證次數(shù)】TRUE
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