【摘要】本實(shí)用新型涉及一種影像擷取裝置，包括：一平臺(tái)；一連結(jié)桿體固設(shè)于平臺(tái)上，且連結(jié)桿體遠(yuǎn)離平臺(tái)的一端具有一彎折部；及一鏡頭模塊，包含一殼體，其具有一樞接面，以樞設(shè)于彎折部的一端，且以彎折部為支點(diǎn)垂直旋轉(zhuǎn)，并有一鏡頭及一燈光組設(shè)置于殼體。本
【摘要】 本發(fā)明涉及一種光刻膠再生及其系統(tǒng)，利用低溫濃縮抽離回收光刻膠溶液中的清洗溶劑，使其固含量達(dá)到原生光刻膠固含量以上，再經(jīng)過(guò)濾裝置除去回收光刻膠中的粒狀物后，并添加光刻膠稀釋劑以調(diào)整回收光刻膠的固含量及黏度使膜厚預(yù)測(cè)值接近原生光刻膠，以獲得可再利用的再生光刻膠。經(jīng)本發(fā)明的方法濃縮過(guò)后的再生光刻膠揮發(fā)性降低，有助于改善其涂布于基板時(shí)四角偏厚的現(xiàn)象。 ： 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院 【申請(qǐng)人類型】科研單位 【申請(qǐng)人地址】臺(tái)灣省新竹縣 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】臺(tái)灣省 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610065829.5 【申請(qǐng)日】2006-03-23 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN101042529A 【公開(kāi)公告日】2007-09-26 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN101042529B 【授權(quán)公告日】2010-09-15 【授權(quán)公告年份】2010.0 【IPC分類號(hào)】G03F7/00 【發(fā)明人】賴慶智; 馮桂森; 黃緯苓; 楊炎勝; 朱志弘; 吳橞淂; 鄧純禎; 劉展睿; 陳銘恩; 陳志慧 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種光刻膠再生方法，其特征在于，包含下列步驟： (a)以低溫濃縮抽離回收光刻膠溶液中的溶劑，使其固含量達(dá)到高于原生光 刻膠后即停止； (b)過(guò)濾去除所述低溫濃縮后的回收光刻膠中的粒狀物； (c)添加溶劑以調(diào)整回收光刻膠的固含量及黏度； (d)監(jiān)測(cè)所述調(diào)整后的回收光刻膠的固含量及黏度；及 (e)調(diào)整所述回收光刻膠固含量及黏度，使其于固定轉(zhuǎn)速下達(dá)成目標(biāo)膜厚。 【當(dāng)前權(quán)利人】財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】中國(guó)臺(tái)灣新竹縣 【引證次數(shù)】3.0 【自引次數(shù)】1.0 【他引次數(shù)】2.0 【家族引證次數(shù)】6.0
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