【摘要】一種便攜式牙刷盒，它是由具有容納空間的盒體和與盒體通過折動部連接并扣合的盒蓋構成，盒蓋以折動部為軸向上掀啟，以便從盒體容納空間中取放牙刷，或盒蓋以折動部為軸向下蓋合于盒體并扣合，使得牙刷被收存于盒體內部；本實用新型攜帶方便，避免其與
【摘要】 本發明是有關于一種形成溝渠電容的方法，是以 下列制造步驟來揭示。在一半導體基材上形成溝渠，沉積第一 溝渠介電層于此溝渠內，且第一溝渠介電層的高度并未達到此 溝渠的全部高度。于第一溝渠介電層上并沿著此溝渠的內側表 面形成蝕刻終止層(Etch Stop Layer)。沉積第二溝渠介電層于蝕 刻終止層上。去除第二溝渠介電層和蝕刻終止層，以暴露出第 一溝渠介電層。于第一溝渠介電層上形成導電層，以使導電層、 第一溝渠介電層和半導體基材作用為溝渠電容。 【專利類型】發明申請 【申請人】臺灣積體電路制造股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】臺灣省新竹市新竹科學工業園區力行六路8號 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610083522.8 【申請日】2006-05-30 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1971846A 【公開公告日】2007-05-30 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100472712C 【授權公告日】2009-03-25 【授權公告年份】2009.0 【發明人】陳朝祺; 侯全評 【主權項內容】1、一種形成溝渠電容的方法，其特征在于其至少包括： 形成一溝渠于一半導體基材上； 沉積一第一溝渠介電層于該此溝渠內，且該第一溝渠介電層的高度并 未達到該溝渠的高度； 于該第一溝渠介電層上并沿著該溝渠的內側表面上形成一蝕刻終止層； 沉積一第二溝渠介電層于該蝕刻終止層上； 去除該第二溝渠介電層和該蝕刻終止層，以暴露出該第一溝渠介電層； 以及 于該第一溝渠介電層上形成一導電層，以使該導電層、該第一溝渠介 電層和該半導體基材作用為一溝渠電容。 【當前權利人】臺灣積體電路制造股份有限公司 【當前專利權人地址】臺灣省新竹市新竹科學工業園區力行六路8號 【家族被引證次數】TRUE
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