【摘要】本實用新型涉及一種微型風扇。該微型風扇包括：一扇輪，具有一軸桿，軸桿一端固設有軸座，軸座外周延伸有多個葉片，并在各葉片的外周緣設置有永久磁鐵；一殼座，內部設有環墻，環墻中央可供扇輪置入，環墻外周為可供置入定子組的定子安置槽，且殼座上
【摘要】 本實用新型提出一種改進的半導體機臺，其中針對半導體機臺中真空腔體中晶圓載板下方冷卻基座內的冷卻管路進行改進的設計，在半導體機臺中包含：一個真空腔體；一個位于上述真空腔體之內的載板；一個支撐上述載板的支撐軸；一個位于載板下方的冷卻基座；以及流經支撐軸內部與冷卻基座內部的冷卻管路，其特征在于冷卻管路通過冷卻基座與載板之間的界面，且通過該界面的冷卻管路區段以密封環防護。本實用新型可以提高冷卻效率、增進真空防護以及便利維修。 【專利類型】實用新型 【申請人】聯萌科技股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】中國臺灣新竹縣竹北市光明六路47號9樓 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200620132865.4 【申請日】2006-09-27 【申請年份】2006 【公開公告號】CN200953342Y 【公開公告日】2007-09-26 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN200953342Y 【授權公告日】2007-09-26 【授權公告年份】2007.0 【IPC分類號】H01L21/00; H01L21/203; H01L21/3065; H01L21/683; C23C14/00; C23F4/00; H01L21/02; H01L21/67 【發明人】劉相賢 【主權項內容】1.一種改進的半導體機臺，包含： 一個真空腔體； 一個位于上述真空腔體之內的載板； 一個支撐上述載板的支撐軸； 一個位于載板下方的冷卻基座；以及 流經支撐軸內部與冷卻基座內部的冷卻管路， 其特征在于：冷卻管路通過冷卻基座與載板之間的界面。 【當前權利人】力鼎精密股份有限公司 【當前專利權人地址】中國臺灣苗栗縣竹南鎮科義街39號 【被引證次數】2 【被他引次數】2.0 【家族被引證次數】2
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