【摘要】本實用新型涉及一種具有集中光線且可隨意調整角度定位的手工具照明裝置結構，包括手工具本體，其本體主要包括一扳動頭及一握把，該扳動頭可用于扳動一螺固件，扳動頭與握把間設置一照明裝置及一開關，該照明裝置以一發光二極管作為光源，該發光二極管
【摘要】 本發明是有關于一種三維制程監控(Process Control Monitor；PCM)結構與使用方法，以在集成電路的制程 中，進行三維集成電路連線的電性測試和失效分析。此方法至 少包括：形成第一金屬化層；進行第一晶圓允收測試(Wafer Acceptance Testing；WAT)步驟以測試第一金屬化層的導通性； 形成復數個第一金屬介層窗(Vias)于第一金屬化層的導電部 上，且形成第二金屬化層，第二金屬化層包括有位于第一金屬 介層窗上的復數個金屬島，其中此些金屬島是與第一金屬化層 電性相通， 以形成制程監控(PCM)結構；以及進行第二晶圓允收測試 (WAT)步驟，以測試第一金屬化層的導通性。本發明能夠集成 電路導通性缺陷的辨識和發現，同時克服現有習知技藝的其他 缺點，從而更加適于實用。 【專利類型】發明申請 【申請人】臺灣積體電路制造股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】臺灣省新竹市新竹科學工業園區力行六路8號 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610103269.8 【申請日】2006-07-24 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1905150A 【公開公告日】2007-01-31 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100397606C 【授權公告日】2008-06-25 【授權公告年份】2008.0 【IPC分類號】H01L21/66; H01L23/544; H01L23/522 【發明人】成文義; 邱智彥; 雷漢雄; 李仲 【主權項內容】1、一種集成電路的連線缺陷的檢測方法，適用于一集成電路的制造過 程中，以進行集成電路的連線的電性測試和失效分析，其特征在于其至少 包括以下步驟： 形成一第一金屬化層； 進行一第一晶圓允收測試步驟，以測試該第一金屬化層的導通性； 形成復數個第一金屬介層窗于該第一金屬化層的復數個導電部導電部 上，且形成一第二金屬化層，其中該第二金屬化層至少包括位于該些第一 金屬介層窗上的復數個金屬島，該些金屬島是與該第一金屬化層電性相通， 以形成一制程監控結構； 進行一第二晶圓允收測試步驟，以測試該第一金屬化層的導通性。 【當前權利人】臺灣積體電路制造股份有限公司 【當前專利權人地址】臺灣省新竹市新竹科學工業園區力行六路8號 【被引證次數】19 【被他引次數】19.0 【家族引證次數】11.0 【家族被引證次數】31
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