【摘要】本實(shí)用新型為一種真空腔的改進(jìn)結(jié)構(gòu)，用于半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)的晶圓定位，其中該機(jī)臺(tái)所使用的載盤，可共用于沉積制程機(jī)臺(tái)與蝕刻制程機(jī)臺(tái)，當(dāng)用于蝕刻制程機(jī)臺(tái)時(shí)，可以提供較精準(zhǔn)的晶圓定位。此改進(jìn)的真空腔中包括一制程室、一承載裝置、一晶圓載盤、以及一繞環(huán)
【摘要】 一種提供碎紙機(jī)具有多向調(diào)整功能的輔助裝置，是以調(diào)整碎紙機(jī)入紙口的進(jìn)紙角度及調(diào)整碎紙機(jī)操作高度、方向?yàn)槟康模逡栽鲞M(jìn)碎紙機(jī)使用時(shí)的便利性；該輔助裝置由底板；支架；用以聯(lián)結(jié)底板與支架的高度、方向調(diào)整組件，及設(shè)在支架上緣附近的入紙口角度調(diào)整組件所構(gòu)成；實(shí)務(wù)上將碎紙機(jī)及配備的廢紙筒放置在輔助裝置上，并使碎紙機(jī)與入紙口角度調(diào)整組件聯(lián)結(jié)，以調(diào)整碎紙機(jī)至最佳進(jìn)紙角度；而高度、方向調(diào)整組件可改變底板與支架間的距離，以調(diào)整碎紙機(jī)至最佳操作高度。 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】世慶實(shí)業(yè)股份有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】臺(tái)灣省臺(tái)北縣 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】臺(tái)灣省 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200620175420.4 【申請(qǐng)日】2006-12-31 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN200995161Y 【公開公告日】2007-12-26 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN200995161Y 【授權(quán)公告日】2007-12-26 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類號(hào)】B02C18/00 【發(fā)明人】王鐵君 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種提供碎紙機(jī)具有多向調(diào)整功能的輔助裝置，其中： 碎紙機(jī)，包括機(jī)體及廢紙筒，其中機(jī)體內(nèi)部裝置有切割刀具及馬達(dá) 等組件，機(jī)體面板上設(shè)有引導(dǎo)紙張進(jìn)入切割刀具的入紙口；其特征在于： 包括有： 輔助裝置，用以承載碎紙機(jī)，并對(duì)碎紙機(jī)提供包括走紙角度、高度 及方向的調(diào)整功能。 【當(dāng)前權(quán)利人】世慶實(shí)業(yè)股份有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】臺(tái)灣省臺(tái)北縣 【被引證次數(shù)】2 【被他引次數(shù)】2.0 【家族被引證次數(shù)】2
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