【摘要】本實(shí)用新型涉及一種卷布機(jī)，防回卷改進(jìn)結(jié)構(gòu)。 該防回卷結(jié)構(gòu)配合一卷布桿設(shè)置，包括與卷布桿對(duì)應(yīng)設(shè)置的支 桿組、對(duì)應(yīng)導(dǎo)布桿設(shè)置且與支桿組中第一支桿連接的抵掣單 元、疊設(shè)在抵掣單元的調(diào)整部?jī)?nèi)的抵掣片、以用將抵掣單元與 抵掣片固定在一起的固定
【摘要】 本發(fā)明提供一種注入劑量控制系統(tǒng)與方法、用離 子束進(jìn)行晶圓注入的方法，所述注入劑量控制系統(tǒng)，包括第一 接口、第二接口、控制器。該第一接口，其是用以接收一注入 離子束的掃描位置數(shù)據(jù)。該第二接口，其是用以接收該注入離 子束的流量數(shù)據(jù)，其是界定在多個(gè)掃描之間的一第一流量值， 及在該多個(gè)掃描中之一者期間的多個(gè)第二流量值。該控制器， 其是依據(jù)該第一流量值決定一容忍范圍，決定是否該第二流量 值超過(guò)該容忍范圍，并計(jì)算超過(guò)該容忍范圍的該第二流量值的 數(shù)目。本發(fā)明所述注入劑量控制系統(tǒng)與方法、用離子束進(jìn)行晶 圓注入的方法，可即時(shí)偵測(cè)離子流量，并根據(jù)流量隨時(shí)調(diào)整離 子注入量。 ： 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】臺(tái)灣省新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū)新竹市力行六路八號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】臺(tái)灣省 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610002904.3 【申請(qǐng)日】2006-01-27 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN1892987A 【公開(kāi)公告日】2007-01-10 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100530548C 【授權(quán)公告日】2009-08-19 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類號(hào)】H01L21/265; H01L21/425; C30B31/22; H01J37/317; H01L21/02; C30B31/00 【發(fā)明人】鄭迺漢; 張鈞琳; 彭文煜 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種注入劑量控制系統(tǒng)，其特征在于，所述注入劑量控制 系統(tǒng)包括： 一第一接口，其是用以接收一注入離子束的掃描位置數(shù)據(jù)； 一第二接口，其是用以接收該注入離子束的流量數(shù)據(jù)，其是 界定在多個(gè)掃描之間的一第一流量值，及在該多個(gè)掃描其中之一 的期間的多個(gè)第二流量值；以及 一控制器，其是依據(jù)該第一流量值決定一容忍范圍，決定是 否該第二流量值超過(guò)該容忍范圍，并計(jì)算超過(guò)該容忍范圍的該第 二流量值的數(shù)目。 【當(dāng)前權(quán)利人】臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】臺(tái)灣省新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū)新竹市力行六路八號(hào) 【被引證次數(shù)】2 【被他引次數(shù)】2.0 【家族引證次數(shù)】18.0 【家族被引證次數(shù)】15
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