【摘要】本實(shí)用新型提供一種地震警報(bào)器，其設(shè)有一機(jī) 體，該機(jī)體內(nèi)設(shè)有照明裝置、閃光裝置及喇叭，且照明裝置、 閃光裝置及喇叭分別連接在控制電路，控制電路連接于電池， 該控制電路設(shè)有震動(dòng)偵測裝置，機(jī)體的其中兩側(cè)邊分別設(shè)有氣 泡式水平儀；通過前述構(gòu)
【摘要】 一種消色差浸沒干涉成像光刻系統(tǒng)，包括激光器 (1)、擴(kuò)束準(zhǔn)直空間濾波裝置(2)、偏振控制裝置(3)、定時(shí)快門(4)、 分束光柵(5)、0級(jí)衍射光控制器件(10)，復(fù)合光柵(7)、浸沒液 體層、抗蝕劑硅片(11)及硅片工作臺(tái)(12)。分束光柵(5)和復(fù)合 光柵(7)間為浸沒液體層(6)，復(fù)合光柵(7)與硅片工作臺(tái)(12)間為 浸沒液體層(8)；分束光柵(5)和復(fù)合光柵(7)的種類、材料、柵 距、結(jié)構(gòu)以及厚度均相同，浸沒液體層(6、8)為同種液體且浸 沒高度相等。本發(fā)明采用雙液體層來保持兩光臂光程相等，得 到對稱結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)消色差干涉成像。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中國科學(xué)院電工研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】100080北京市海淀區(qū)中關(guān)村北二條6號(hào) 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610114360.X 【申請日】2006-11-08 【申請年份】2006 【公開公告號(hào)】CN1945439A 【公開公告日】2007-04-11 【公開公告年份】2007 【IPC分類號(hào)】G03F7/20; H01L21/027; H01L21/02 【發(fā)明人】周遠(yuǎn); 李艷秋; 張強(qiáng) 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種消色差浸沒干涉成像光刻系統(tǒng)，包括激光器(1)、擴(kuò)束準(zhǔn)直空間濾波裝置(2)、 偏振控制裝置(3)、定時(shí)快門(4)、分束光柵(5)、復(fù)合光柵(7)、浸沒液體層、抗蝕劑硅片 (11)及硅片工作臺(tái)(12)，其特征在于：系統(tǒng)各器件由上至下的空間位置順序?yàn)榉质鈻?(5)、浸沒液體層(6)、0級(jí)衍射光控制器件(10)、復(fù)合光柵(7)、浸沒液體層(8)、 涂有光敏抗蝕劑的硅片(11)、電控精密硅片工作臺(tái)(12)；防漏擋板(9)在復(fù)合光柵(7) 和硅片工作臺(tái)(12)四周邊緣，電控精密調(diào)整機(jī)構(gòu)在系統(tǒng)側(cè)面，通過懸臂與分束光柵(5) 和復(fù)合光柵(7)相連；分束光柵(5)和復(fù)合光柵(7)間的間隙為浸沒液體層(6)， 復(fù)合光柵(7)與硅片工作臺(tái)(12)間的間隙為浸沒液體層(8)；表面涂有光敏抗蝕劑 的硅片(11)通過真空泵(14)和與之相連的密封氣管(13)緊密吸附固定在電控精密 硅片工作臺(tái)(12)上。。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院電工研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)中關(guān)村北二條6號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】121000004000124147 【被引證次數(shù)】12 【被他引次數(shù)】12.0 【家族被引證次數(shù)】12
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