【摘要】本實用新型公開了一種長工作距干涉顯微鏡，包括：起偏器、分束器、長工作距顯微鏡和由兩個光軸互相垂直的雙折射直角棱鏡粘合而成的渥拉斯頓棱鏡，光源經過所述起偏器形成線偏振光，并經所述分束器反射后再通過所述渥拉斯頓棱鏡，將入射線偏振光分成兩
【摘要】 一種短小光波導芯片的測量方法，是使用由激光器、輸入透鏡光纖、芯片、凸透鏡、顯示屏、輸出透鏡光纖和探測設備組成的設備進行的測量，包括：首先對經解理露出了波導端面的芯片用粘合劑粘在一段反光的材料上；在芯片的輸入端采用輸入透鏡光纖引入光信號，芯片的輸入端位于輸入透鏡光纖輸出光最強點的位置，從芯片輸出的光信號經凸透鏡成像于顯示屏，通過成像光斑判斷芯片的通光情況并找出凸透鏡的最佳位置點；把輸出透鏡光纖置于所述凸透鏡的最佳成像點處以使接受到的芯片輸出信號最強，該信號經光纖傳輸到探測設備，由此得到芯片的傳輸譜及波導損耗特性；完成芯片的測量。 【專利類型】發明申請 【申請人】中國科學院半導體研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】100083北京市海淀區清華東路甲35號 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200610089350.5 【申請日】2006-06-21 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101093183A 【公開公告日】2007-12-26 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100480663C 【授權公告日】2009-04-22 【授權公告年份】2009.0 【IPC分類號】G01M11/00 【發明人】余和軍; 余金中; 邢波 【主權項內容】1.一種短小光波導芯片的測量方法，該測量方法是使用 由激光器、輸入透鏡光纖、芯片、凸透鏡、顯示屏、輸出透鏡 光纖和探測設備組成的設備進行的測量，其特征在于，包括如 下步驟： (1)首先對經解理露出了波導端面的芯片用粘合劑粘在 一段反光的材料上； (2)在芯片的輸入端采用輸入透鏡光纖引入光信號，芯 片的輸入端位于輸入透鏡光纖輸出光最強點的位置，從芯片輸 出的光信號經凸透鏡成像于顯示屏，通過成像光斑判斷芯片的 通光情況并找出凸透鏡的最佳位置點； (3)之后把輸出透鏡光纖置于所述凸透鏡的最佳成像點 處以使接受到的芯片輸出信號最強，該信號經光纖傳輸到探測 設備，由此得到芯片的傳輸譜及波導損耗特性； (4)完成芯片的測量，將芯片與反光材料分離。 【當前權利人】中國科學院半導體研究所 【當前專利權人地址】北京市海淀區清華東路甲35號 【統一社會信用代碼】12100000400012385U 【被引證次數】4 【被自引次數】1.0 【被他引次數】3.0 【家族引證次數】3.0 【家族被引證次數】4
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