【專利類型】外觀設計【申請人】北京寶維智能照明工程技術有限公司【申請人類型】企業【申請人地址】100083北京市海淀區志新路15號中原大樓3層【申請人地區】中國【申請人城市】北京市【申請人區縣】海淀區【申請號】CN200630014630.
【摘要】 本實用新型公開了一種長工作距干涉顯微鏡，包括：起偏器、分束器、長工作距顯微鏡和由兩個光軸互相垂直的雙折射直角棱鏡粘合而成的渥拉斯頓棱鏡，光源經過所述起偏器形成線偏振光，并經所述分束器反射后再通過所述渥拉斯頓棱鏡，將入射線偏振光分成兩束具有微小夾角并且振動方向互相垂直的線偏振光，該兩束光投射到被測量樣品上，從被測量樣品表面反射回的兩束正交線偏振光經原路返回，由所述渥拉斯頓棱鏡重新復合共線，并經過一四分之一波片形成橢圓偏振光，再經過一檢偏器后形成偏振方向相同的線偏振光。本實用新型對機械振動、空氣擾動、以及溫度變化等外界環境不敏感，其垂直測量分辨率達到50個納米量級，具有50mm的工作距離。 【專利類型】實用新型 【申請人】中國科學院力學研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】100080北京市海淀區北四環西路15號 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200620117767.3 【申請日】2006-06-21 【申請年份】2006 【公開公告號】CN200969000Y 【公開公告日】2007-10-31 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN200969000Y 【授權公告日】2007-10-31 【授權公告年份】2007.0 【IPC分類號】G02B21/00; G01B9/02 【發明人】段俐; 康琦; 胡良; 阿燕; 于泳 【主權項內容】1、一種長工作距干涉顯微鏡，其特征在于，包括：起偏器、放大鏡、 分束器、長工作距顯微鏡和由兩個光軸互相垂直的雙折射直角棱鏡粘合 而成的渥拉斯頓(Wollaston)棱鏡，光源依次經過所述放大鏡和起偏器 形成線偏振光，并經所述分束器反射后再通過所述渥拉斯頓棱鏡，將入 射線偏振光分成兩束具有微小夾角并且振動方向互相垂直的線偏振光， 該兩束光投射到被測量樣品上，從被測量樣品表面反射回的兩束正交線 偏振光經原路返回，由所述渥拉斯頓棱鏡重新復合共線，并經過一四分 之一波片形成橢圓偏振光，再經過一檢偏器后形成偏振方向相同的線偏 振光，發生干涉，通過長工作距顯微鏡和CCD相機接收圖像信號，再傳 輸給設置有圖像處理軟件的計算機進行圖像處理，所述長工作距顯微鏡 和CCD相機之間還設置有用于成像的毛玻璃。 【當前權利人】中國科學院力學研究所 【當前專利權人地址】北京市海淀區北四環西路15號 【統一社會信用代碼】1210000040001222XA 【被引證次數】2 【被他引次數】2.0 【家族被引證次數】2
未經允許不得轉載：http://www.mhvdw.cn/1776257826.html
喜歡就贊一下
