【摘要】本發明涉及全球定位系統GPS接收機領域，特別是針對雙頻掩星GPS接收機中各種觀測量測量誤差的方法。該掩星誤差測量方法采用同一天線的兩臺掩星接收機，兩臺接收機是相同的兩臺待測接收機，也可是一臺為已知測量量誤差，一臺為待測接收機，由兩臺
【摘要】 本發明涉及一種用于掃描隧道顯微鏡的隧道探針及其制備方法。本發明利用預先打孔再沉積的方法，并通過控制聚焦離子束刻蝕，電子束曝光，離子刻蝕，或反應離子刻蝕的方法的工藝參數，得到針尖直徑為納米水平、分辨率高的細小的探針。可根據實際情況，直接使用或是去掉絕緣層薄膜襯底后只保留倒圓臺形孔洞里的導電材料，來作為針尖使用。本發明不會引入雜質、針尖表面不易產生碳層和氧化物層，保證了探針針尖化學組分的單一；制得的探針不局限于常規的鎢絲、鉑－銥絲等細金屬絲，可根據需要，得到各種導電材料制得的針尖；也可以制備出單晶的隧道針尖；和常規的方法無法得到的自旋極化率為100％的半金屬隧道針尖。。 【專利類型】發明申請 【申請人】中國科學院物理研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】100080北京市海淀區中關村南三街8號 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200610066899.2 【申請日】2006-03-31 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101079331A 【公開公告日】2007-11-28 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN101079331B 【授權公告日】2010-12-08 【授權公告年份】2010.0 【IPC分類號】G12B21/04; G01N13/12; H01L21/00; G01Q60/16 【發明人】魏紅祥; 韓秀峰; 王天興; 張曉光 【主權項內容】1、一種用于掃描隧道顯微鏡的隧道探針的制備方法，包括如下的步驟： 1)在Si襯底兩側利用化學氣相沉積的方法各制備一絕緣層薄膜，然后利用紫外 光刻的方法在其一側開一個0.2×0.2平方毫米的窗口，利用化學反應刻蝕的方法除去窗 口內的絕緣層薄膜；然后把該樣品放入65℃、4M的KOH溶液中進行蝕刻，由于KOH 溶液刻蝕Si的速率遠遠高于其刻蝕絕緣層薄膜的速率，因此將Si襯底中央部分刻蝕， 露出另一側的絕緣層薄膜； 2)在步驟1)得到的Si襯底的另一側的絕緣層薄膜上，使用聚焦離子束刻蝕方法， 電子束曝光結合離子刻蝕或反應離子刻蝕的方法，或納米壓印的方法，制備出倒圓臺 形的孔洞，所述的倒圓臺形的孔洞上表面的直徑為3～100納米，下表面的直徑為0.3～ 50納米，其上表面與下表面的直徑相差很大，已近似為倒圓錐形； 3)使用常規方法在步驟2)制得的具有倒圓臺形的孔洞的絕緣層薄膜上和Si襯底 的中央部分沉積導電材料，直至其中充滿所述的導電材料，以及在絕緣層薄膜上形成 50～1000納米厚的導電層，即得到本發明的用于掃描隧道顯微鏡的隧道探針，該隧道 探針可直接使用。 【當前權利人】中國科學院物理研究所 【當前專利權人地址】北京市海淀區中關村南三街8號 【統一社會信用代碼】12100000400012174C 【被引證次數】16 【被自引次數】1.0 【被他引次數】15.0 【家族引證次數】11.0 【家族被引證次數】16
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