【摘要】本發明一種消除分布模式耦合的環形微腔波導濾波器的制作方法，其特征在于，包括如下步驟：(1)在襯底上依次生長下波導包層、波導層和上波導包層；(2)在清洗干凈的上波導包層表面涂上光刻膠；(3)通過普通光刻或電子束曝光和顯影技術將所需的圖
【專利類型】外觀設計 【申請人】北京長城高騰信息產品有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】100080北京海淀區北四環西路9號銀谷大廈712－716室 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200630001022.6 【申請日】2006-01-19 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3652500D 【公開公告日】2007-05-30 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN3652500D 【授權公告日】2007-05-30 【授權公告年份】2007.0 【發明人】鈴木省吾; 阿部隆志 【主權項內容】無 【當前權利人】北京長城高騰信息產品有限公司 【當前專利權人地址】北京海淀區北四環西路9號銀谷大廈712－716室
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