【摘要】 本發(fā)明公開(kāi)了一種子孔徑雷達(dá)高度計(jì)，包括定時(shí)單元、調(diào)頻信號(hào)生成單元、上變頻放大單元、功放單元、天線、低噪聲放大單元、下變頻放大單元、相位檢波單元、數(shù)字處理單元、回波跟蹤單元、第一混頻器、第二混頻器和去斜本振，所述的數(shù)字處理單元完成信
【摘要】 本發(fā)明一種消除分布模式耦合的環(huán)形微腔波導(dǎo)濾波器的制作方法，其特征在于，包括如下步驟：(1)在襯底上依次生長(zhǎng)下波導(dǎo)包層、波導(dǎo)層和上波導(dǎo)包層；(2)在清洗干凈的上波導(dǎo)包層表面涂上光刻膠；(3)通過(guò)普通光刻或電子束曝光和顯影技術(shù)將所需的圖形轉(zhuǎn)移到光刻膠上；(4)通過(guò)化學(xué)腐蝕或干法刻蝕，得到整個(gè)器件結(jié)構(gòu)。。該數(shù)據(jù)由<>整理 【專(zhuān)利類(lèi)型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 【申請(qǐng)人類(lèi)型】科研單位 【申請(qǐng)人地址】100083北京市海淀區(qū)清華東路甲35號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610011981.5 【申請(qǐng)日】2006-05-25 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN101079512A 【公開(kāi)公告日】2007-11-28 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100487976C 【授權(quán)公告日】2009-05-13 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類(lèi)號(hào)】H01P11/00; H01P1/207; H01P1/20 【發(fā)明人】陳沁; 楊躍德; 黃永箴 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種消除分布模式耦合的環(huán)形微腔波導(dǎo)濾波器的制作 方法，其特征在于，包括如下步驟： (1)在襯底上依次生長(zhǎng)下波導(dǎo)包層、波導(dǎo)層和上波導(dǎo)包 層； (2)在清洗干凈的上波導(dǎo)包層表面涂上光刻膠； (3)通過(guò)普通光刻或電子束曝光和顯影技術(shù)將所需的圖 形轉(zhuǎn)移到光刻膠上； (4)通過(guò)化學(xué)腐蝕或干法刻蝕，得到整個(gè)器件結(jié)構(gòu)。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 【當(dāng)前專(zhuān)利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)清華東路甲35號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000400012385U 【被引證次數(shù)】4 【被自引次數(shù)】3.0 【被他引次數(shù)】1.0 【家族引證次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】4
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