【專利類型】外觀設計【申請人】方維行【申請人類型】個人【申請人地址】100085北京市海淀區上地信息產業基地創業路18號【申請人地區】中國【申請人城市】北京市【申請人區縣】海淀區【申請號】CN200630098524.5【申請日】2006-
【摘要】 一種等離子體化學氣相沉積法金剛石涂層的溫度測量裝置，屬于金剛石涂層技術領域。包括：陰極部分、真空室、真空泵系統、壓力測控裝置、電源、陰極桿、陰極體、陽極、直流電弧弧柱、制品架、磁場線圈。在拉長的直流電弧弧柱(9)的周圍裝置有一金屬圓環(14)，金屬圓環(14)和其上焊接的異類金屬導體(15)都具有較大的熱容量；在圓周方向上，金屬圓環(14)和其上的異類導體(15)間隔90度設置，保證其對設備幾何中心的高度對稱性。本實用新型的優點在于：利用結構上高度對稱、同時又有較大的熱容量的組合式溫度測量裝置，可克服使用直流電弧等離子體化學氣相沉積裝置對大量工件進行金剛石涂層時，涂層的沉積溫度難于測量的技術難題。 【專利類型】實用新型 【申請人】北京科技大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】100083北京市海淀區學院路30號 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200620023059.3 【申請日】2006-06-09 【申請年份】2006 【公開公告號】CN2932338Y 【公開公告日】2007-08-08 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN2932338Y 【授權公告日】2007-08-08 【授權公告年份】2007.0 【IPC分類號】G01K7/00; C23C16/52 【發明人】唐偉忠; 孟憲明; 黑立富; 李成明; 陳廣超; 宋建華; 呂反修; 佟玉梅 【主權項內容】 1、一種等離子體化學氣相沉積法金剛石涂層的溫度測量裝置，包括： 陰極部分、真空室、真空泵系統、壓力測控裝置、電源、陰極桿、陰極 體、陽極、直流電弧弧柱、制品架、磁場線圈；其特征在于：在拉長的 直流電弧弧柱(9)的周圍裝置有一金屬圓環(14)，在金屬圓環的內孔 部位(16、17、18、19)處焊接有四個異類金屬制成的導體(15)，在圓 周方向上，金屬圓環(14)和其上的異類導體(15)間隔90度設置。 【當前權利人】北京科技大學 【當前專利權人地址】北京市海淀區學院路30號 【統一社會信用代碼】121000004000022245 【引證次數】2.0 【被引證次數】3 【自引次數】2.0 【被自引次數】1.0 【被他引次數】2.0 【家族引證次數】2.0 【家族被引證次數】3
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