【摘要】本發明是一類锝－99m標記的二巰基丁二酸酯類配合物及其制備方法和應用，其特點是配合物，以99mTc(V)、99mTcN(22)、99mTc(I)(CO)3為中心核，與其配位的二巰基丁二酸酯類配體，用式DMSRDMSR2表示，其中R為
【摘要】 一種長波長微機械可調諧濾波器的結構，包括：一n型砷化鎵襯底；一緩沖層，該緩沖層制作在襯底上；一下布拉格反射鏡，該下布拉格反射鏡制作在緩沖層上，是濾波器的下反射鏡；一n型歐姆接觸層，該n型歐姆接觸層制作在下布拉格反射鏡上，用來制作下電極；一空氣腔，該空氣腔制作在n型歐姆接觸層上，用于可調諧；一四臂固支梁，該四臂固支梁制作在空氣腔上；一上布拉格反射鏡，該上布拉格反射鏡制作在緩沖層上，是濾波器的上反射鏡；一p電極，該p電極制作在四臂固支梁的上面；一n電極，該n電極制作在n型歐姆接觸層的上面。 【專利類型】發明申請 【申請人】中國科學院半導體研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】100083北京市海淀區清華東路甲35號 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200610067135.5 【申請日】2006-04-03 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101051162A 【公開公告日】2007-10-10 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100435018C 【授權公告日】2008-11-19 【授權公告年份】2008.0 【發明人】吳旭明; 王小東; 譚滿清 【主權項內容】1.一種長波長微機械可調諧濾波器的結構，其特征在于， 該結構包括： 一襯底，該襯底為n型砷化鎵襯底； 一緩沖層，該緩沖層制作在襯底上； 一下布拉格反射鏡，該下布拉格反射鏡制作在緩沖層上， 是濾波器的下反射鏡； 一n型歐姆接觸層，該n型歐姆接觸層制作在下布拉格反 射鏡上，用來制作下電極； 一空氣腔，該空氣腔制作在n型歐姆接觸層上，用于可調 諧； 一四臂固支梁，該四臂固支梁制作在空氣腔上； 一上布拉格反射鏡，該上布拉格反射鏡制作在緩沖層上， 是濾波器的上反射鏡； 一p電極，該p電極制作在四臂固支梁的上面； 一n電極，該n電極制作在n型歐姆接觸層的上面。 【當前權利人】中國科學院半導體研究所 【當前專利權人地址】北京市海淀區清華東路甲35號 【統一社會信用代碼】12100000400012385U 【被引證次數】4 【被他引次數】1.0 【家族被引證次數】4
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