【摘要】本發(fā)明涉及半導體器件及集成電路制造工藝中化合物半導體異質結雙極晶體管的發(fā)射極基極金屬圖形自對準的制作方法。采用包括等離子體輔助化學氣相沉積、光刻機、刻蝕機、金屬蒸發(fā)設備和浸泡剝離設備，其特點是先在化合物半導體外延片的表面淀積SiO2
【摘要】 本發(fā)明涉及一種石腦油催化裂解制乙烯丙烯的催化劑，主要解決現(xiàn)有催化裂解中反應溫度高，催化劑對乙烯丙烯的選擇性和轉化率低的問題，本發(fā)明通過采用一種ZSM－5和絲光沸石的復合分子篩作為催化劑，較好地解決了該問題，可用于催化裂解制乙烯丙烯的工業(yè)生產(chǎn)中。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中國石油化工股份有限公司; 中國石油化工股份有限公司上海石油化工研究院 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】100029北京市朝陽區(qū)惠新東街甲6號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】朝陽區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610025099.6 【申請日】2006-03-27 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101045212A 【公開公告日】2007-10-03 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100475337C 【授權公告日】2009-04-08 【授權公告年份】2009.0 【IPC分類號】B01J29/80; B01J29/18; B01J29/40; C07C4/06; C07C11/04; C07C11/06 【發(fā)明人】謝在庫; 馬廣偉; 陳亮; 肖景嫻; 楊為民 【主權項內(nèi)容】1、一種石腦油催化裂解制乙烯丙烯的催化劑，其特征在于催化劑為SiO2/Al2O3摩爾 比為12～100的ZSM-5和絲光沸石的復合分子篩。 【當前權利人】中國石油化工股份有限公司; 中國石油化工股份有限公司上海石油化工研究院 【當前專利權人地址】北京市朝陽區(qū)惠新東街甲6號; 上海市浦東新區(qū)浦東北路1658號 【專利權人類型】其他股份有限公司(上市); 國有企業(yè) 【統(tǒng)一社會信用代碼】91110000710926094P; 913101158329345516 【引證次數(shù)】3.0 【被引證次數(shù)】13 【他引次數(shù)】3.0 【被自引次數(shù)】8.0 【被他引次數(shù)】5.0 【家族引證次數(shù)】5.0 【家族被引證次數(shù)】13
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