【摘要】一種多孔SiO2薄膜的制備方法，采用平行極板式電容耦合等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)設備，上電極極板為雙層篩狀進氣結構，兩極板的板間距為2.5cm～3.5cm，13.56MHz的射頻信號經匹配網絡聯接到上極板上，下電極極板接
【摘要】 一種變焦物鏡的補償鏡驅動機構，微型直流電機的輸出軸和撥桿后端通過聯軸器聯接，裝有變焦補償鏡的鏡框通過微型滾珠滑動導軌固定在機座上，撥桿具有圓柱面頂端，其位于固定在鏡框側面的滑槽板構成的滑 槽中，并且撥桿頂端的圓柱面回轉直徑Φ與滑槽寬度L之差等于鏡片在導軌上的移動行程s，由于圓柱面上各處直徑相等，使撥桿轉動角度可有比較大的允差，容易裝配調試；由于圓柱面上所受的壓力都過圓心，所以機構在D、E兩點處于穩定平衡受力，不會因壓縮彈簧的推力發生轉動，機構能可靠自鎖；由于撥桿的驅動行程只需要轉動180°，利用配有減速齒輪的1.5W微電機可以獲得足夠的轉動力矩和較短的切換時間，響應速度小于0.7秒。 【專利類型】實用新型 【申請人】昆明物理研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】650223云南省昆明市五華區教場東路31號 【申請人地區】中國 【申請人城市】昆明市 【申請人區縣】五華區 【申請號】CN200620019441.7 【申請日】2006-04-14 【申請年份】2006 【公開公告號】CN200944149Y 【公開公告日】2007-09-05 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN200944149Y 【授權公告日】2007-09-05 【授權公告年份】2007.0 【發明人】何實; 沈瑜 【主權項內容】1、一種變焦物鏡的補償鏡驅動機構，包括直流電機、變焦補償鏡、聯軸器、 撥桿、壓縮彈簧、微動開關和控制電路，其特征在于：微型直流電機(8)的輸 出軸和撥桿(4)后端通過聯軸器(9)聯接，裝有變焦補償鏡(2)的鏡框通過 微型滾珠滑動導軌(6)固定在機座(7)上，撥桿的圓柱面頂端位于固定在鏡 框側面的滑槽板(5)構成的滑槽中，并且撥桿(4)頂端的圓柱面回轉直徑Φ 與滑槽寬度L之差等于鏡片在導軌(6)上的移動行程s。。更多數據：www.macrodatas.cn 【當前權利人】昆明物理研究所 【當前專利權人地址】云南省昆明市五華區教場東路31號 【被引證次數】TRUE 【家族被引證次數】TRUE
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