【摘要】本發明涉及一種簡支梁型微電子機械系統探卡 及其制備方法，采用UV－LIGA多次光刻、電鍍工藝在基片上 制備彈性金屬探針，在探針結構上采用簡支梁代替目前的懸臂 梁，以承受和產生更大的刺穿氧化膜應力，并通過設計簡支梁 的厚度來調節探針的
【摘要】 本實用新型涉及一種波輪式連續計量裝置，包括 料斗、出料口、控制器，其特征在于：在料斗和出料口之間有 料腔，料腔內有一轉輪，轉輪的下邊側相對于料腔的底面，轉 輪的周邊上設有若干個內凹槽，轉輪有電機驅動。在料腔與出 料口間有一擋塊。轉輪的周邊上的內凹槽均勻分布。驅動轉輪 的電機連接控制器，料腔的一側為透明物。本實用新型的優點 是能連續精確計量，能夠大幅度提高生產效率，同時本身結構 簡單，性能可靠，清掃簡單，可以直接觀察到計量全過程。 【專利類型】實用新型 【申請人】上海艾的維機械制造有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】200108上海市閔行區虹梅南路3398號 【申請人地區】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區縣】閔行區 【申請號】CN200620040021.7 【申請日】2006-03-08 【申請年份】2006 【公開公告號】CN2896242Y 【公開公告日】2007-05-02 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN2896242Y 【授權公告日】2007-05-02 【授權公告年份】2007.0 【發明人】王在榮 【主權項內容】1、一種波輪式連續計量裝置，包括料斗、出料口、控制器，其特征在于：在料 斗和出料口之間有料腔，料腔內有一轉輪，轉輪的下邊側相對于料腔的底面， 轉輪的周邊上設有若干個內凹槽，轉輪有電機驅動。 【當前權利人】上海艾的維機械制造有限公司 【當前專利權人地址】上海市閔行區虹梅南路3398號 【專利權人類型】有限責任公司(自然人投資或控股) 【統一社會信用代碼】91310112778549854Q 【被引證次數】1 【家族被引證次數】1
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