【摘要】本發明公開了一種用于制造微電子產品的微區敷膜技術與裝置，它用微處理機控制涂敷筆在基片指定的部位按設計的圖形和尺寸描繪敷料形成涂敷膜層，這種敷膜技術與裝置具有操作簡便、成本低廉、膜層均勻等優點，此外還能滿足涂敷多品種膜層的需要。【專利
【摘要】 本發明是用盤式霧化法制備金屬粉末的裝置，所使用的分散旋轉盤(2)是由特殊設計的分散上盤(10)和分散下盤(11)，石墨或其它隔熱材料(9)和(12)組成分散盤主體，在旋轉軸上部設計了帶孔翅形裝置(19)，保證冷卻水在高速運行時冷卻旋轉軸·本發明使用擋水蓋(17)解決了旋轉軸冷卻水的密封問題。采用本裝置生產金屬粉末能源耗量小，工藝簡單。 【專利類型】發明授權 【申請人】中國科學院感光化學研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】北京市德勝門外北沙灘 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】朝陽區 【申請號】CN88101261.0 【申請日】1988-04-12 【申請年份】1988 【公開公告號】CN1011127B 【公開公告日】1991-01-09 【公開公告年份】1991 【授權公告號】CN1011127B 【授權公告日】1991-01-09 【授權公告年份】1991.0 【IPC分類號】B22F9/10 【發明人】戴自梁; 王仲賢; 劉繼琴; 陳琦; 趙作家 【主權項內容】用盤式霧化法制備金屬粉末的裝置包括提供熔融金屬的熔爐(１)，以一定速度旋轉的旋轉盤(２)，冷卻系統(３)和霧化室(５)，本發明的特征是高速旋轉盤(２)是由特殊設計的分散上盤(１０)和分散下盤(１１)，石墨或其它隔熱材料(９)和(１２)組成分散盤主體，且與旋轉盤套座(１３)相連，進料口(８)置于分散盤上，分散旋轉盤的聯接軸直接浸于水中進行冷卻。 【當前權利人】中國科學院感光化學研究所 【當前專利權人地址】北京市德勝門外北沙灘 【家族引證次數】2.0 【家族被引證次數】8.0
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