【摘要】一種高度可調式醫用轉運車,它包括在高度可調式升降車上放置的床,其特點是:高度可調式升降車包括車架,萬向輪總成,后輪總成和升降機構;萬向輪總成的前、后支撐臂a、b上端分別鉸接于車架上,其下端分別鉸接于萬向輪架上,萬向輪架上裝有萬向輪;
【摘要】 本發明提供一種完全金屬硅化柵極與無金屬硅化電阻與其制備方法。圖案化柵極與電阻的半導體材料后,以第一介電層保護多晶硅免于金屬硅化,接著進行第一次金屬硅化將晶體管的柵極部分金屬硅化。厚層柵極則以第二介電層保護電阻免于金屬硅化,接著進行第二次金屬硅化使柵極完全金屬硅化。。 【專利類型】發明申請 【申請人】臺灣積體電路制造股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】臺灣省新竹科學工業園區新竹市力行六路八號 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610057498.0 【申請日】2006-03-17 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101093816A 【公開公告日】2007-12-26 【公開公告年份】2007 【IPC分類號】H01L21/82; H01L27/02 【發明人】丁煜明; 王志豪 【主權項內容】1.一種完全金屬硅化柵極與無金屬硅化電阻的制備方法,其 特征在于,該方法包括: 以半導體材料形成至少一柵極與一電阻; 形成一第一介電層以覆蓋該電阻;以及 進行第一金屬硅化制程,至少金屬硅化部分該柵極且不金屬 硅化該電阻。 【當前權利人】臺灣積體電路制造股份有限公司 【當前專利權人地址】臺灣省新竹科學工業園區新竹市力行六路八號 【被引證次數】2 【被他引次數】2.0 【家族引證次數】2.0 【家族被引證次數】6
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