【摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種便攜式輸液架，該新型采用雙肩背包結(jié)構(gòu)形式，在板式支架左右兩側(cè)分別插接固定輸液瓶支撐桿及手臂托板連接桿，前者采用拉桿天線結(jié)構(gòu)形式，頂端固定連接輸液瓶網(wǎng)兜，后者套裝轉(zhuǎn)動(dòng)套，手臂托板由螺桿、螺母連接在該轉(zhuǎn)動(dòng)套上，轉(zhuǎn)動(dòng)套
【摘要】 本實(shí)用新型提出一種捕捉環(huán)，其具有上表面與下 表面。捕捉環(huán)內(nèi)緣包括承載面，承載面與上表面呈平行并用來(lái) 承載晶片。上表面與承載面之間具有內(nèi)徑導(dǎo)角，內(nèi)徑導(dǎo)角和承 載面的法線夾一角度，這個(gè)角度大于30度且小于或等于90度。 因?yàn)椴蹲江h(huán)的內(nèi)徑導(dǎo)角和承載面的法線所夾的角度大于30度 且小于或等于90度，所以可增加蝕刻機(jī)臺(tái)中的等離子體折射 與反射面積，因此能夠有效控制晶片側(cè)邊薄片狀缺陷的大小以 及減少晶片側(cè)邊的缺陷數(shù)。 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】聯(lián)華電子股份有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】中國(guó)臺(tái)灣新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】臺(tái)灣省 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200620112588.0 【申請(qǐng)日】2006-04-26 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN2899105Y 【公開(kāi)公告日】2007-05-09 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN2899105Y 【授權(quán)公告日】2007-05-09 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類號(hào)】H01L21/00; H01L21/3065; H01L21/311; H01L21/3213; H01L21/67; C23F4/00; H01L21/02 【發(fā)明人】陳俊銘; 孫偉鈞; 呂水煙; 黃經(jīng)勛; 陳彥宏 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種捕捉環(huán)，其特征在于，該捕捉環(huán)具有上表面與下表面，且該捕 捉環(huán)內(nèi)緣還包括承載面與該上表面平行，用以承載晶片，其中： 該捕捉環(huán)的該上表面與該承載面之間具有內(nèi)徑導(dǎo)角，該內(nèi)徑導(dǎo)角和該承 載面的法線夾一角度，該角度大于30度且小于或等于90度。 【當(dāng)前權(quán)利人】聯(lián)華電子股份有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】中國(guó)臺(tái)灣新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū)
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