【專利類型】外觀設(shè)計(jì)【申請(qǐng)人】普立爾科技股份有限公司【申請(qǐng)人類型】企業(yè)【申請(qǐng)人地址】臺(tái)灣省臺(tái)北市【申請(qǐng)人地區(qū)】中國【申請(qǐng)人城市】臺(tái)灣省【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200630007432.1【申請(qǐng)日】2006-03-14【申請(qǐng)年份】2006【公開公告號(hào)】
【摘要】 本發(fā)明公開一種薄膜的清除方法及其設(shè)備，該薄膜的清除方法及其設(shè)備清除一基板上的薄膜，首先在該基片上方設(shè)置一電漿產(chǎn)生器以及一抽氣裝置，接著該電漿產(chǎn)生器將電漿束斜射到該薄膜上，該抽氣裝置位于該電漿產(chǎn)生器射出電漿對(duì)應(yīng)的反射路徑上，吸取薄膜經(jīng)電漿反應(yīng)后，未反應(yīng)完全產(chǎn)生的副產(chǎn)物，保持該基片表面的清潔，改善大氣狀態(tài)下使用電漿進(jìn)行表面清除會(huì)產(chǎn)生副產(chǎn)物沉積的缺點(diǎn)。本發(fā)明薄膜的清除方法及其設(shè)備清除電漿反應(yīng)的副產(chǎn)物、提高了液晶面板的優(yōu)良率、節(jié)省液晶面板的制造成本，可完整清除液晶面板表面的光阻。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院 【申請(qǐng)人類型】科研單位 【申請(qǐng)人地址】臺(tái)灣省新竹縣 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國 【申請(qǐng)人城市】臺(tái)灣省 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610080908.3 【申請(qǐng)日】2006-05-22 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN101078891A 【公開公告日】2007-11-28 【公開公告年份】2007 【IPC分類號(hào)】G03F7/42 【發(fā)明人】張加強(qiáng); 吳清吉; 蔡陳德; 林春宏 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種薄膜的清除方法，清除一基片上的薄膜，其特征在于，該薄 膜的清除方法包括： 在該基片上方設(shè)置一電漿產(chǎn)生器以及一抽氣裝置；以及 調(diào)整該電漿產(chǎn)生器，使其射出的電漿束斜射在該薄膜上，該抽氣 裝置設(shè)在對(duì)應(yīng)該電漿束的反射路徑上，吸除該薄膜經(jīng)電漿反應(yīng)后，未 反應(yīng)完全而產(chǎn)生的副產(chǎn)物，保持該基片表面的清潔。 【當(dāng)前權(quán)利人】財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】臺(tái)灣省新竹縣 【引證次數(shù)】1.0 【被引證次數(shù)】1 【他引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】1.0 【家族引證次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】1
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