【摘要】本發(fā)明提供一種浸潤(rùn)式光刻的方法及其處理方 法，包括：提供一光致抗蝕劑層在半導(dǎo)體基底上，以及使用浸 潤(rùn)式光刻曝光系統(tǒng)曝光該光致抗蝕劑層。該浸潤(rùn)式光刻曝光系 統(tǒng)在曝光時(shí)使用液體，并可在曝光后去除一些但不是全部的液 體；曝光后，使用一處理
【摘要】 一種消除運(yùn)算放大器偏移電壓的運(yùn)算放大器驅(qū)動(dòng)電路。該運(yùn)算放大器驅(qū)動(dòng)電路包含具有斬波器的運(yùn)算放大器，該運(yùn)算放大器具有第一輸入端、第二輸入端以及輸出端；第一開(kāi)關(guān)，接收一輸入電壓并連接至運(yùn)算放大器的第一輸入端；第二開(kāi)關(guān)，連接于運(yùn)算放大器的第一輸入端與運(yùn)算放大器的輸出端；第三開(kāi)關(guān)，連接于運(yùn)算放大器的第二輸入端與運(yùn)算放大器的輸出端；以及電容，連接于運(yùn)算放大器的第二輸入端。由于該運(yùn)算放大器驅(qū)動(dòng)電路由運(yùn)算放大器的輸出端直接對(duì)電容充放電，且運(yùn)算放大器的第一輸入端與第二輸入端的極性可交換，因此該運(yùn)算放大器驅(qū)動(dòng)電路不需提高輸入信號(hào)的驅(qū)動(dòng)能力，且可縮短電容充放電時(shí)間和消除偏移電壓。 ： 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】凌陽(yáng)科技股份有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】臺(tái)灣省新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū)創(chuàng)新一路19號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】臺(tái)灣省 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610075831.0 【申請(qǐng)日】2006-04-18 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN101059940A 【公開(kāi)公告日】2007-10-24 【公開(kāi)公告年份】2007 【IPC分類號(hào)】G09G3/36; G09G3/20; H03F3/45; G02F1/133; G02F1/13 【發(fā)明人】林崑宗 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種消除運(yùn)算放大器偏移電壓的運(yùn)算放大器驅(qū)動(dòng)電路，其特征在 于，包括： 具有斬波器的運(yùn)算放大器，該運(yùn)算放大器具有第一輸入端、第二輸入 端以及輸出端； 第一開(kāi)關(guān)，具有第一端和第二端，其中該第一端接收輸入電壓，且該 第二端連接至所述運(yùn)算放大器的所述第一輸入端； 第二開(kāi)關(guān)，連接于所述運(yùn)算放大器的第一輸入端與所述運(yùn)算放大器的 輸出端； 第三開(kāi)關(guān)，連接所述運(yùn)算放大器的第二輸入端與所述運(yùn)算放大器的輸 出端；以及 電容，連接于所述運(yùn)算放大器的第二輸入端與電源地； 其中在輸入電壓儲(chǔ)存階段時(shí)，所述第一開(kāi)關(guān)與所述第三開(kāi)關(guān)導(dǎo)通、所 述第二開(kāi)關(guān)斷路、所述第一輸入端切換為正輸入端以及所述第二輸入端切 換為負(fù)輸入端；而在輸出電壓階段時(shí)，所述第一開(kāi)關(guān)與所述第三開(kāi)關(guān)斷路、 所述第二開(kāi)關(guān)導(dǎo)通、所述第一輸入端切換為負(fù)輸入端以及所述第二輸入端 切換為正輸入端。 【當(dāng)前權(quán)利人】凌陽(yáng)科技股份有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】臺(tái)灣省新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū)創(chuàng)新一路19號(hào) 【被引證次數(shù)】30 【被自引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】29.0 【家族被引證次數(shù)】30
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