【摘要】本實(shí)用新型涉及一種桿體用扣具，其于固定鉤座內(nèi)設(shè)有供活動組件置入的容置空間，固定鉤座一側(cè)設(shè)有與容置空間相連通的開口，靠近開口一側(cè)設(shè)有呈倒鉤狀的卡鉤部，于容置空間二側(cè)內(nèi)壁面上分別穿設(shè)有呈傾斜狀及垂直狀的多個導(dǎo)槽，活動組件上則設(shè)有一止擋部
【摘要】 一種形成金屬氧化物半導(dǎo)體晶體管的方法，是先提供一基底，再于基底上形成一個金屬氧化物半導(dǎo)體晶體管。接著，進(jìn)行一道自行對準(zhǔn)金屬硅化工藝，之后對基底進(jìn)行一道紅外線處理，以修補(bǔ)前述基底中的損傷。由于上述方法能夠修補(bǔ)前述基底中的損傷，所以可有效降低金屬氧化物半導(dǎo)體晶體管的結(jié)漏電，進(jìn)而提升良率。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】聯(lián)華電子股份有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】中國臺灣新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū) 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請?zhí)枴緾N200610084227.4 【申請日】2006-05-29 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101083212A 【公開公告日】2007-12-05 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN100468660C 【授權(quán)公告日】2009-03-11 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類號】H01L21/336; H01L21/8238; H01L21/02; H01L21/70 【發(fā)明人】陳能國; 鄒世芳; 蔡騰群; 黃建中 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種形成金屬氧化物半導(dǎo)體晶體管的方法，包括： 提供基底； 于該基底上形成金屬氧化物半導(dǎo)體晶體管； 于該基底上沉積接觸窗蝕刻中止層，以覆蓋該金屬氧化物半導(dǎo)體晶體 管；以及 對該接觸窗蝕刻中止層進(jìn)行紫外線固化程序，同時對該基底進(jìn)行紅外線 處理。 【當(dāng)前權(quán)利人】聯(lián)華電子股份有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】中國臺灣新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū) 【被引證次數(shù)】2 【被他引次數(shù)】2.0 【家族引證次數(shù)】4.0 【家族被引證次數(shù)】2
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