【摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種鳳螺人工飼料組成物，其主要是由干燥藻粉、懸浮性微粒飼料、綜合維他命、腸道益生菌、消化分解酵素與微量礦物質(zhì)按比例混合而成的組成物，將此組成物投喂至鳳螺浮游幼苗，藉此增加鳳螺幼苗存活率及生長(zhǎng)率，并具有使用上的便利性，而降
【摘要】 本發(fā)明是有關(guān)于一種多重光罩曝光系統(tǒng)及其曝光方法。該多重光罩曝光系統(tǒng)包括一光罩載臺(tái)模塊，用以支承一第一光罩及一第二光罩，其中第一光罩經(jīng)一第一光束照射后形成具有一第一圖案的第一轉(zhuǎn)換光束，第二光罩經(jīng)一第二光束照射后形成一具有一第二圖案的第二轉(zhuǎn)換光束。此曝光系統(tǒng)亦包括一光束結(jié)合器，用以結(jié)合第一轉(zhuǎn)換光束及第二轉(zhuǎn)換光束，以形成一結(jié)合圖案光束，此結(jié)合圖案光束被投射于具有一光阻層之基板。本發(fā)明多重光罩曝光系統(tǒng)及其曝光方法具有達(dá)到降低制造成本、提高生產(chǎn)率及消除對(duì)準(zhǔn)問(wèn)題的優(yōu)點(diǎn)。 【專(zhuān)利類(lèi)型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司 【申請(qǐng)人類(lèi)型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】中國(guó)臺(tái)灣新竹市新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū)力行六路8號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】臺(tái)灣省 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610112280.0 【申請(qǐng)日】2006-08-30 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN1987656A 【公開(kāi)公告日】2007-06-27 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100538527C 【授權(quán)公告日】2009-09-09 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類(lèi)號(hào)】G03F7/20; H01L21/027; H01L21/02 【發(fā)明人】林本堅(jiān) 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種多重光罩曝光系統(tǒng)，其特征在于其包括： 一光罩載臺(tái)模塊，用以支承一第一光罩及一第二光罩，其中該第一光 罩經(jīng)一第一光束照射后形成具有一第一圖案的一第一轉(zhuǎn)換光束，該第二光 罩經(jīng)一第二光束照射后形成具有一第二圖案的一第二轉(zhuǎn)換光束；以及 一光束結(jié)合器，用以結(jié)合該第一轉(zhuǎn)換光束及該第二轉(zhuǎn)換光束，以形成 一結(jié)合圖案光束，其中該結(jié)合圖案光束被投射于具有一光阻層的一基板。 【當(dāng)前權(quán)利人】臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司 【當(dāng)前專(zhuān)利權(quán)人地址】中國(guó)臺(tái)灣新竹市新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū)力行六路8號(hào) 【被引證次數(shù)】4 【被他引次數(shù)】4.0 【家族引證次數(shù)】23.0 【家族被引證次數(shù)】20
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