【摘要】本發明提供一種量測方法以及虛擬量測系統,特別涉及一種適用于半導體制造的虛擬量測系統與方法。接收程序數據與量測數據。根據程序數據與量測數據透過學習控制模型而產生預測數據。適用于制造廠的虛擬量測系統包括用以接收程序數據的錯誤偵測與分類系
【專利類型】外觀設計 【申請人】李錦珠 【申請人類型】個人 【申請人地址】中國臺灣 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200630023018.X 【申請日】2006-02-28 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3613191D 【公開公告日】2007-02-21 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN3613191D 【授權公告日】2007-02-21 【授權公告年份】2007.0 【發明人】李錦珠 【主權項內容】無 【當前權利人】李錦珠 【當前專利權人地址】中國臺灣
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