【摘要】一種麥克風(fēng)軟道管包括一座體、一接頭、一軟管、一插頭部、一接插部、一導(dǎo)電彈片；該導(dǎo)電彈片安裝在該座體內(nèi)；該座體包括一連接部，在連接部?jī)?nèi)設(shè)有一收容孔；該接頭連接在該座體和軟管之間，其包括一插接部，該插接部對(duì)應(yīng)插設(shè)到該收容孔中，該插接部?jī)?nèi)
【摘要】 本發(fā)明提供一種量測(cè)方法以及虛擬量測(cè)系統(tǒng)，特別涉及一種適用于半導(dǎo)體制造的虛擬量測(cè)系統(tǒng)與方法。接收程序數(shù)據(jù)與量測(cè)數(shù)據(jù)。根據(jù)程序數(shù)據(jù)與量測(cè)數(shù)據(jù)透過(guò)學(xué)習(xí)控制模型而產(chǎn)生預(yù)測(cè)數(shù)據(jù)。適用于制造廠的虛擬量測(cè)系統(tǒng)包括用以接收程序數(shù)據(jù)的錯(cuò)誤偵測(cè)與分類系統(tǒng)，以及統(tǒng)計(jì)程序控制系統(tǒng)，用以對(duì)歷史的實(shí)體量測(cè)數(shù)據(jù)執(zhí)行統(tǒng)計(jì)程序控制而產(chǎn)生量測(cè)數(shù)據(jù)，且虛擬量測(cè)應(yīng)用系統(tǒng)是用以根據(jù)程序數(shù)據(jù)與量測(cè)數(shù)據(jù)透過(guò)學(xué)習(xí)控制模型而產(chǎn)生預(yù)測(cè)數(shù)據(jù)。本發(fā)明所提供的量測(cè)方法以及虛擬量測(cè)系統(tǒng)，可透過(guò)降低實(shí)際程序或工具監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)而改善產(chǎn)品制造的周期時(shí)間。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】中國(guó)臺(tái)灣新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū)新竹市力行六路八號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】臺(tái)灣省 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610149890.8 【申請(qǐng)日】2006-10-31 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN101067742A 【公開(kāi)公告日】2007-11-07 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN101067742B 【授權(quán)公告日】2010-11-10 【授權(quán)公告年份】2010.0 【IPC分類號(hào)】G05B13/02; G05B19/048 【發(fā)明人】張永政; 傅學(xué)士; 王英郎; 鄭芳田 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種量測(cè)方法，其特征在于，用以實(shí)現(xiàn)一制造廠中的一虛 擬量測(cè)操作，所述量測(cè)方法包括： 接收一程序數(shù)據(jù)以及一量測(cè)數(shù)據(jù)；以及 根據(jù)上述程序數(shù)據(jù)與上述量測(cè)數(shù)據(jù)透過(guò)一學(xué)習(xí)控制模型而產(chǎn) 生一預(yù)測(cè)數(shù)據(jù)。 【當(dāng)前權(quán)利人】臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】中國(guó)臺(tái)灣新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū)新竹市力行六路八號(hào) 【被引證次數(shù)】19 【被自引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】18.0 【家族引證次數(shù)】5.0 【家族被引證次數(shù)】25
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