【摘要】一種電腦主機機殼，包括一前殼體部、一后殼體部、一第一承載部、一第一風扇設置部、一主機板設置部、一第二風扇設置部、一第二承載部及一電源供應器設置部。第一承載部設置于前殼體部與后殼體部間，并鄰接于前殼體部。第一風扇設置部設置于前殼體部與
【摘要】 本發明為一種多層金屬一次電極的制造方法及其制造裝置，其將磊晶片清洗后放入制造裝置內，以進行多層金屬電極的制造，該制造裝置至少包含：一承載體、一磁性組件、一載具、一磁性光罩以及復數個金屬源，以將磊晶片由載具承載利用磁性光罩所設的接觸窗，使復數個金屬源以金屬鍍膜沉積方式，透過接觸窗的沉積即可形成多層金屬電極，本發明無需將使用習知的黃光微影制程及化學金屬蝕刻制程，即可簡單快速地完成制造，并兼顧優良的品質。 【專利類型】發明申請 【申請人】曜富科技股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】臺灣省苗栗縣竹南鎮科義路38號 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610074543.3 【申請日】2006-04-27 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101064352A 【公開公告日】2007-10-31 【公開公告年份】2007 【IPC分類號】H01L33/00; H01L21/28; C23C14/04 【發明人】廖奇德 【主權項內容】1、一種多層金屬一次電極的制造方法，其特征在于， 至少包含以下步驟： a、將磊晶片清洗； b、將磊晶片放入一制造裝置的載具中，并于晶片上方 設有一具有接觸窗的磁性光罩； c、以由裝有不同金屬材料的復數金屬源，利用金屬鍍膜 沉積方法，依序將金屬材料透過接觸窗，在磊晶片上堆棧形 成多層金屬電極；以及 d、移除該制造裝置。 【當前權利人】曜富科技股份有限公司 【當前專利權人地址】臺灣省苗栗縣竹南鎮科義路38號 【被引證次數】8 【被他引次數】8.0 【家族被引證次數】8
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