【摘要】本實用新型提供一種改進的平衡校正機，包括中央控制器、人機界面；還包括：一校正元件，是夾持待測物的校正元件，設有感應校正元件運轉的感應器；所述中央控制器，是接收感應器訊號的電腦控制器；一介面元件，是與電腦控制器耦接，設有給電腦控制器輸
【摘要】 本發明涉及一種制造薄膜圖案層的方法，其包括以下步驟：提供一基板，并采用光阻材料以光阻涂布、曝光、顯影方式形成若干擋墻，該若干擋墻間形成若干收容空間；利用等離子裝置清洗該基板表面；利用噴墨裝置將墨水注入該若干收容空間中；固化該墨水形成薄膜圖案層。該方法利用等離子裝置清洗該基板表面這一過程，能夠去除殘留在相鄰擋墻之間的光阻，通過噴墨法將墨水注入該擋墻之間，因為沒有殘留光阻的存在，故，墨水在該處附著較佳，不易形成漏光。 【專利類型】發明申請 【申請人】虹創科技股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】臺灣省新竹科學工業園區新竹市工業東四路24－1號4樓 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610080401.8 【申請日】2006-05-09 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101071273A 【公開公告日】2007-11-14 【公開公告年份】2007 【發明人】周景瑜 【主權項內容】1.一種制造薄膜圖案層的方法，其包括以下步驟： 提供一基板，并采用光阻材料以光阻涂布、曝光、顯影方式在基板上形 成若干擋墻，該若干擋墻間形成若干收容空間； 利用等離子裝置清洗該基板表面； 利用噴墨裝置將墨水注入該若干收容空間中； 固化該墨水形成薄膜圖案層。 【當前權利人】虹創科技股份有限公司 【當前專利權人地址】臺灣省新竹科學工業園區新竹市工業東四路24－1號4樓 【被引證次數】7 【被他引次數】7.0 【家族被引證次數】7
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