【摘要】一種適用于晶圓制程，具有防止殘留鈀材顆粒污染以及提高清潔效率的改進的半導體機臺。此半導體機臺包括一制程室、一擋板、一晶圓載盤、以及一承載裝置。其中擋板設置于制程室內并具有一抵接部；晶圓載盤設置于制程室內，該盤緣與該抵接部為一可相互抵
【摘要】 ： 。本實用新型為門鉸鏈。一種自動復位的門鉸鏈，包括有：一固定于門板的第一頁片；一固定于門框的第二頁片；轉軸；一套設于該轉軸且與該第一頁片連動而繞著該轉軸轉動的第一扭轉件；一套設于該轉軸的第二扭轉件；一具有固定于該第二扭轉件的固定端，和固定于該第一扭轉件的扭轉端的扭轉彈簧，其特征在于：具有：固定于該轉軸一端的第一凸輪，該第一凸輪具有一第一斜面；套設于該轉軸的第二凸輪，該第二凸輪可被該第一頁片連動而與該第一扭轉件同步地繞著該轉軸旋轉，該第二凸輪具有一第二斜面常態與該第一斜面保持接觸；一螺合于該轉軸的另一端的螺帽；以及一介于該螺帽與該第二扭轉件之間的壓縮彈簧。解決減緩自動復位門鉸鏈撞擊力并且減少噪音的技術問題。 【專利類型】實用新型 【申請人】林子衡; 王雅平; 王明宏 【申請人類型】個人 【申請人地址】臺灣省臺中市東區富仁里6鄰富榮街23號10樓 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200620044543.4 【申請日】2006-08-04 【申請年份】2006 【公開公告號】CN200952310Y 【公開公告日】2007-09-26 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN200952310Y 【授權公告日】2007-09-26 【授權公告年份】2007.0 【IPC分類號】E05F1/12; E05F1/00 【發明人】林子衡; 王雅平; 王明宏 【主權項內容】1、一種自動復位的門鉸鏈，包括有：一固定于門板(35)的第一頁片 (29)；一固定于門框(36)的第二頁片(30)；轉軸(23)；一套設于該轉 軸(23)且與該第一頁片(29)連動而繞著該轉軸(23)轉動的第一扭轉 件(24)；一套設于該轉軸(23)的第二扭轉件(26)；一具有固定于該第 二扭轉件(26)的固定端(251)，和固定于該第一扭轉件(24)的扭轉端 (252)的扭轉彈簧(25)，其特征在于： 具有：固定于該轉軸(23)一端的第一凸輪(21)，該第一凸輪(21) 具有一第一斜面(221)；套設于該轉軸(23)的第二凸輪(22)，該第二凸 輪(22)可被該第一頁片(29)連動而與該第一扭轉件(24)同步地繞著 該轉軸(23)旋轉，該第二凸輪(22)具有一第二斜面(223)常態與該第 一斜面(221)保持接觸；一螺合于該轉軸(23)的另一端的螺帽(28)； 以及一介于該螺帽(28)與該第二扭轉件(26)之間的壓縮彈簧(27)。 【當前權利人】林子衡; 王雅平; 王明宏 【當前專利權人地址】臺灣省臺中市東區富仁里6鄰富榮街23號10樓; ; 【引證次數】1.0 【被引證次數】7 【他引次數】1.0 【被他引次數】7.0 【家族引證次數】1.0 【家族被引證次數】7
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