【摘要】一種沉積設備的清潔方法，首先將一含氟的清潔氣體導入該沉積設備中，使該含氟的清潔氣體在該沉積設備中維持在一第一壓力狀態下。提供一RF功率，點燃該沉積設備中的該含氟的清潔氣體，產生一等離子體氣體。形成該等離子體氣體后，使該等離子體氣體在
【摘要】 一種具編碼器的調整控制裝置，其包括一編碼器機構及一殼體組；編碼器機構具有基座、電路板及編碼器，電路板設于基座的一側，電路板的相對側形成固定軸，編碼器結合于基座且與電路板形成電連接，殼體組具有按壓殼、結合座、轉動座及承座，按壓殼組設于基座的一側，結合座組設于基座的另一側，且結合座連接編碼器，并容設于轉動座中，轉動座連接結合座，使結合座及轉動座可轉動地與編碼器組設，承座組設于結合座及轉動座的一側，固定軸的一端組接于承座中；通過編碼器機構的結構設計，可以具有重復地順/逆時針轉動的功能，從而提供更佳的使用效果。 【專利類型】實用新型 【申請人】寶德科技股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】中國臺灣臺北縣 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200620157164.6 【申請日】2006-11-13 【申請年份】2006 【公開公告號】CN200976118Y 【公開公告日】2007-11-14 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN200976118Y 【授權公告日】2007-11-14 【授權公告年份】2007.0 【發明人】吳正成 【主權項內容】1、一種具編碼器的調整控制裝置，其特征在于，該控制裝置包括： 一編碼器機構，其具有基座、電路板及編碼器，該電路板設有觸動開關， 且該電路板設于該基座的一側，該電路板的相對側形成固定軸，該固定軸設 于該基座中，該編碼器結合于該基座且與該電路板形成電連接；以及 一殼體組，其具有按壓殼、結合座、轉動座及承座，該按壓殼可按壓地 組設于該基座的一側，且可對應按壓該觸動開關，該結合座組設于該基座的 另一側，且該結合座連接該編碼器并容設于該轉動座中，該轉動座連接該結 合座以使該結合座及該轉動座可轉動地與該編碼器組設，該承座組設于該結 合座及該轉動座的一側，該固定軸的一端組接于該承座中。 【當前權利人】寶德科技股份有限公司 【當前專利權人地址】中國臺灣臺北縣 【被引證次數】2 【被他引次數】2.0 【家族被引證次數】2
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