【摘要】一種多向式散熱結(jié)構(gòu)，是利用復(fù)數(shù)散熱鰭片接合組成，主要在于散熱鰭片的長短各不相同，于組合后可排列成多數(shù)導(dǎo)流隔板，該導(dǎo)流隔板是依風(fēng)向各呈一定角度，而形成適當(dāng)?shù)娘L(fēng)道，令風(fēng)扇順利導(dǎo)入氣流，迅速流向散熱鰭片間隙的導(dǎo)熱區(qū)，加速散熱片底部熱源的散
【摘要】 。一種壓縮性氮化物層的制造方法，包括進(jìn)行一化學(xué)氣相沉積工藝，以于一基底上形成一氮化物層，其特征是在化學(xué)氣相沉積工藝期間通入特定氣體，而這種特定氣體是選自包括氬氣、氮?dú)狻㈦礆夂碗瘹獾钠渲幸环N氣體或其組合。由于添加上述特定氣體，所以可降低壓縮應(yīng)力，并進(jìn)而增加PMOS驅(qū)動(dòng)電流增益。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】聯(lián)華電子股份有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】中國臺(tái)灣新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國 【申請(qǐng)人城市】臺(tái)灣省 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610077218.2 【申請(qǐng)日】2006-04-30 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN101064254A 【公開公告日】2007-10-31 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100536087C 【授權(quán)公告日】2009-09-02 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類號(hào)】H01L21/318; H01L21/336; H01L21/8238; H01L21/02; H01L21/70 【發(fā)明人】陳能國; 蔡騰群; 黃建中 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種壓縮性氮化物層的制造方法，包括進(jìn)行化學(xué)氣相沉積工藝，以 于基底上形成氮化物層，其特征在于： 在該化學(xué)氣相沉積工藝期間通入特定氣體，其中該特定氣體是選自包括 氬氣、氮?dú)狻㈦礆夂碗瘹獾钠渲幸环N氣體或其組合。 【當(dāng)前權(quán)利人】聯(lián)華電子股份有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】中國臺(tái)灣新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū) 【被引證次數(shù)】3 【被自引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】2.0 【家族引證次數(shù)】4.0 【家族被引證次數(shù)】3
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