【專利類型】外觀設計【申請人】瀚斯寶麗股份有限公司【申請人類型】企業【申請人地址】中國臺灣臺北市內湖區瑞光路480號12樓【申請人地區】中國【申請人城市】臺灣省【申請號】CN200630313867.9【申請日】2006-12-18【申請年
【摘要】 一種三族氮化物垂直柱陣列襯底，此三族氮化物垂直柱陣列襯底包括：襯底、緩沖層與垂直柱陣列層。其中，緩沖層位于襯底上方，且垂直柱陣列層位于緩沖層上，而垂直柱陣列層是由多個立于緩沖層上的垂直柱組成。 【專利類型】發明申請 【申請人】財團法人工業技術研究院 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】中國臺灣新竹縣 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610093762.6 【申請日】2006-06-19 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101093867A 【公開公告日】2007-12-26 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN101093867B 【授權公告日】2010-12-08 【授權公告年份】2010.0 【IPC分類號】H01L33/00; H01S5/00; H01L33/02 【發明人】賴志銘; 劉文岳; 蔡政達; 許榮宗; 果尚志; 沈昌宏; 林弘偉 【主權項內容】1.一種三族氮化物垂直柱陣列襯底，包括： 襯底； 緩沖層，位于該襯底上方；以及 垂直柱陣列層，位于該緩沖層上，其中該垂直柱陣列層是由多個立于該 緩沖層上的垂直柱組成。 【當前權利人】財團法人工業技術研究院 【當前專利權人地址】中國臺灣新竹縣 【被引證次數】4 【被他引次數】4.0 【家族引證次數】2.0 【家族被引證次數】5
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