【摘要】本實用新型提出一種改進的半導體機臺，其中針對半導體機臺中真空腔體中晶圓載板下方冷卻基座內的冷卻管路進行改進的設計，在半導體機臺中包含：一個真空腔體；一個位于上述真空腔體之內的載板；一個支撐上述載板的支撐軸；一個位于載板下方的冷卻基座
【摘要】 一種馬達轉子結構，該轉子中央具有一插固有旋轉軸的突起軸心座，該軸心座延伸至定子的軸管內，且軸心座與軸管內壁間設有一小于1mm的最小間隙，該軸心座底面為一具有高度落差的內凹曲面，該內凹曲面可為斜錐面、圓弧面或環槽，使潤滑油液自浸油軸承甩出后，由軸心座與軸管內壁所形成之最小間隙將潤滑油液封存于軸管內，使潤滑油液沖擊軸心座底面，并沿著該軸心座底面回流，在旋轉軸轉動時由該軸承往該軸孔內吸油的作用下，將潤滑油液再次甩回浸油軸承中，將軸管內的潤滑油液完好保存，不致因轉子的旋轉，而使潤滑油液外溢、損耗，因此，可維持轉子運轉順暢，降低運轉噪音，從而延長馬達的使用壽命。 【專利類型】發明申請 【申請人】建準電機工業股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】中國臺灣 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610065693.8 【申請日】2006-03-21 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101043156A 【公開公告日】2007-09-26 【公開公告年份】2007 【IPC分類號】H02K1/27; H02K15/03 【發明人】洪銀樹; 黃世昌 【主權項內容】1、一種馬達轉子結構，該轉子中央設有一突起軸心座，該軸心座插 固一旋轉軸，其中， 該軸心座必須延伸至定子的軸管內，且該軸心座與軸管內壁間形成一 小于1mm的非接觸最小間隙，該軸心座底面為一非水平面，其由旋轉軸 中心至軸心座底面外周緣之間的該段距離具有高度落差。。 【當前權利人】建準電機工業股份有限公司 【當前專利權人地址】中國臺灣 【被引證次數】2 【被自引次數】1.0 【被他引次數】1.0 【家族被引證次數】2
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